王伟

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磁浮平面电机在超精密工件台中的应用
《电子工业专用设备》2024年第3期68-71,共4页王伟 王文举 张继静 
为了提高半导体设备生产效率和整机性能,设备制造商想尽各种办法。介绍了超精密工件台三维模型,以及磁浮平面电机原理、组成、特性、技术指标与应用前景。同时阐述了超精密工件台采用磁浮平面电机,具有结构简单、高速度和高加速度、高...
关键词：半导体设备 超精密工件台 磁浮平面电机 双工件台 
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