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检索条件："关键词=硬件描述语言宏模型 "
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系统级模拟的MEMS器件宏模型被引量：6
《真空科学与技术》2002年第5期366-371,共6页戎华 黄庆安 李伟华 
MEMS器件的系统级模拟是实现器件优化的重要环节 ,常用的MEMS器件系统级模拟方法是基于宏模型 ,该宏模型要能与电路模拟软件相连接 ,再用电路模拟软件进行系统级模拟。因此 ,关键是如何建立能满足此种要求的宏模型。本文介绍了常用的等...
关键词：MEMS器件 系统级模拟 等效电路宏模型 硬件描述语言宏模型 微机电系统 
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