-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
检索条件："关键词=线宽标准样片 "
共 条 记 录，以下是1-1

发文量、被引量趋势图

全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
显示条数：
纳米级线宽标准样片的设计与制备被引量：4
《计算机与数字工程》2021年第4期664-668,共5页韩志国 李锁印 冯亚南 赵琳 吴爱华 
介绍了纳米级线宽标准样片的用途及其在校准扫描电子显微镜中存在的问题,设计了具有快速循迹结构的线宽标准样片,采用电子束光刻工艺制作了标称宽度为25nm~200nm的线宽样片。以50nm和200nm线宽为例对样片的线宽偏差、线边缘粗糙度、线...
关键词：线宽标准样片 电子束 线宽偏差 线边缘粗糙度 均匀性 稳定性 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部