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玻璃钝化硅快恢复整流二极管被引量：3
《半导体技术》1995年第1期53-57,共5页罗文江 
本文对２ＣＮ６型玻璃钝化硅快恢复整流二极管的结构设计和制造工艺进行了深入分析，确定了合理的结构参数和先进的工艺流程，选用合适电阻率和厚度的Ｎ型硅单晶片，采用磷、硼深扩散，精确控制基区宽度形成Ｐ￣＋ＮＮ￣＋结构；铂扩散...
关键词：P^+NN^+结构 铂扩散 铝硅 欧姆接触 玻璃钝化 
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