金刚石薄膜光学镀层材料的应力特性研究  

Study on The Stress Property of Diamond Film asOptical Coatings

作　　者：王小兵[1] 程勇[1] 吕反修[2] 王古常[1] 孙斌[1] 吝君瑜[1] 杨武保[2] 

机构地区：[1]武汉军械士官学校光电技术研究所,武汉430074 [2]北京科技大学材料工程学院

出　　处：《光学与光电技术》2003年第1期57-60,共4页Optics & Optoelectronic Technology

摘　　要：金刚石膜作为光学镀层时,应力的控制是一项关键技术,本文实验研究了金刚石膜和类金刚石膜作为光学镀层材料时的应力特性,并对此进行了分析。To control stress is one of the key technologies while diamond film acts as optical coatings. The stress property of diamond film and diamond like carbon film as optical coatings is studied experimentally in this paper, and the analysis is also provided.

关 键 词：金刚石膜 光学镀层 MPCVD PLD 

分 类 号：O484.4[理学—固体物理]