杨武保

作品数：16被引量：81H指数：6
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供职机构：中国石油大学（北京）机械与储运工程学院更多>>
发文主题：MPCVD红外光谱等离子体辅助非平衡磁控溅射类金刚石膜更多>>
发文领域：理学金属学及工艺一般工业技术化学工程更多>>
发文期刊：《北京大学学报（自然科学版）》《科学技术与工程》《光学与光电技术》《中国表面工程》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
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等离子体辅助甲烷聚合物制备及分析
《核聚变与等离子体物理》2008年第3期274-277,共4页杨武保 蔡泽勇 赵震 其鲁 
中石油股份公司风险基金资助项目(050511-3-4)
在氢气和甲烷环境下,利用辉光等离子体放电制备了聚合物。该聚合物的外观特征为白色、略发黄、柔软、丝状,易碎为粉末状。聚合物中含有–CH3,–CH2,C–O,–C=C–,–OH等官能团且不存在单质形态的碳。有机溶剂溶解分析发现,常温下该聚合...
关键词：辉光等离子体 甲烷聚合物 红外光谱 聚合机理 
将真空蒸发镀膜机改造为多功能镀膜机被引量：1
《真空》2007年第6期22-23,共2页刘思用 林立 杨武保 
本文阐述了改造普通真空蒸发镀膜机为多功能镀膜机的意义,叙述了具体的改造方法,介绍了改造后的多用途镀膜机在本科生教学实验和科学工作中的应用与效果。
关键词：镀膜机 改造 多功能 
AlN薄膜的离子反应镀工艺优化及分析被引量：2
《表面技术》2007年第3期37-39,共3页刘思用 林立 杨武保 孙惠峰 
利用高纯氮气和铝,采用离子反应镀的方法,在石英玻璃衬底上成功制得AlN薄膜。正交设计优化结果表明:AlN薄膜最大沉积速率达到0.81μm/min,其相应的工艺参数为:蒸发电压225V,轰击电压70V,轰击时N2气压为1.5999Pa。X-射线衍射、原子力显...
关键词：氮化铝 薄膜 离子反应镀 工艺优化 
一种新型硅碳复合薄膜材料作为锂离子二次电池负极材料的研究(英文)
《北京大学学报（自然科学版）》2006年第S1期39-43,共5页赵中琴 吴中友 杨武保 刘鑫 江卫军 
利用气相沉积技术,制备了SixCy层和C层相间的硅碳复合薄膜材料。XRD测试和Raman光谱测试表明,该硅碳复合薄膜材料具有纳米微晶结构。电化学性能测试表明,该SixCy/C复合薄膜材料,具有较低的充放电平台(0·5V以下),对应的首次放电容量达12...
关键词：SixCy/C复合薄膜材料 气相沉积 负极材料 锂离子二次电池负极材料 
非平衡磁控溅射法Ti/TiO_2薄膜的制备及分析被引量：3
《真空科学与技术学报》2006年第2期137-141,共5页杨武保 杜建 赵震 翁永基 张守忠 董琪 
国家自然科学基金(No.20373043)
在光学玻璃衬底上利用新型非平衡磁控溅射技术沉积了Ti/TiO2薄膜。原子力显微镜分析表明,薄膜表面光滑、致密、均匀,表面粗糙度(Ra)小于10 nm,组成薄膜的颗粒尺寸小于100 nm。膜厚测量分析表明,TiO2薄膜的沉积速率达110nm/min。在拉曼...
关键词：非平衡磁控溅射 Ti/TiO2薄膜 非晶态 光学性能 
高能等离子体辅助CVD法新型纳米碳膜的制备及分析被引量：4
《物理学报》2006年第1期351-356,共6页杨武保 范松华 戈敏 张谷令 沈曾民 杨思泽 
国家自然科学基金(批准号:50071068)资助的课题~~
利用自制高能等离子体辅助化学气相沉积设备在1Cr18Ni9Ti衬底上,在离子能量2keV、工作压力2Pa、工作气氛为CH4/H2=10%的工艺条件下得到了一种硬度高、导电性能良好、可能具有碳链结构的新型碳膜.工艺研究结果表明,衬底材料对制备该新型...
关键词：高能等离子体 CVD法 纳米碳膜 衬底材料 
磁控溅射镀膜技术最新进展及发展趋势预测被引量：22
《石油机械》2005年第6期73-76,共4页杨武保 
石油大学与江汉机械研究所合作规划成立表面工程中心的预研项目
磁控溅射技术已经成为沉积耐磨、耐蚀、装饰、光学及其他各种功能薄膜的重要手段。探讨了磁控溅射技术在非平衡磁场溅射、脉冲磁控溅射等方面的进步,说明利用新型的磁控溅射技术能够实现薄膜的高速沉积、高纯薄膜制备、提高反应溅射沉...
关键词：发展趋势 镀膜技术 磁控溅射技术 预测 脉冲磁控溅射 反应溅射沉积 表面处理技术 非平衡磁场 功能薄膜 薄膜制备 石化行业 耐磨 耐蚀 高纯 电镀 
非平衡磁控溅射法类金刚石薄膜的制备及分析被引量：8
《物理学报》2005年第10期4944-4948,共5页杨武保 范松华 张谷令 马培宁 张守忠 杜健 
国家自然科学基金(批准号:50071068)资助的课题.~~
利用非平衡磁控溅射物理气相沉积技术制备了光滑、致密、均匀的类金刚石薄膜.分析沉积工艺参数对所得类金刚石薄膜的电学特性的影响以及溅射粒子的大小、能量、碰撞及沉积过程中的相变机理后认为溅射粒子越小、与环境气体分子的碰撞次...
关键词：非平衡磁控溅射 类金刚石膜 拉曼光谱 红外光谱 类金刚石薄膜 磁控溅射法 制备 气相沉积技术 力学探针 表面光滑 
丙酮环境下ECR微波等离子体辅助化学气相沉积类金刚石薄膜研究被引量：2
《物理学报》2004年第9期3099-3103,共5页杨武保 王久丽 张谷令 范松华 刘赤子 杨思泽 
国家自然科学基金 (批准号 :5 0 0 710 68)资助的课题~~
利用电子回旋共振 (ECR)微波等离子体辅助化学气相沉积技术、工作气氛为丙酮 ,在光学玻璃衬底上得到了光滑、致密、均匀的类金刚石薄膜 .在工艺研究中 ,对等离子体中氧的存在及其作用进行了分析 .原子力显微镜分析表明 ,薄膜的表面粗糙...
关键词：类金刚石薄膜 丙酮气氛 红外光谱 电子回旋共振微波等离子体 化学气相沉积法 
MPCVD方法制备军用光学元件纳米金刚石膜被引量：6
《光学技术》2004年第2期184-186,共3页王小兵 吝君瑜 王古常 孙斌 程勇 吕反修 杨武保 
国防科学基金资助项目
介绍了用MPCVD方法制备纳米金刚石膜的工艺。用MPCVD方法实验研究了在光学玻璃上镀纳米金刚石膜:膜层厚度为0 4551μm,粒度小于200nm,表面粗糙度小于29 5nm,最大透过率为80%;平均显微硬度为34 9GPa,平均体弹性模量为238 9GPa,均接近天...
关键词：军用光学元件 纳米金刚石膜 MPCVD 制备 微波等离子体辅助化学气相沉积 
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