Φ100mm重掺砷〈111〉硅单晶的制备  

作　　者：曾世铭[1] 常青[1] 王锻强 张果虎[1] 

机构地区：[1]北京有色金属研究总院

出　　处：《稀有金属》1995年第4期286-289,共4页Chinese Journal of Rare Metals

摘　　要：通过热场实验、拉晶参数实验与电阻率控制实验，研究了重掺砷＜１１１＞硅单晶的位制工艺，制备出无位错的Φ１００ｍｍ单晶，成品率达３３．８５％。还探讨了简便、高效的砷毒防护方法。

关 键 词：重掺杂 硅单晶 直拉法 掺砷 

分 类 号：O613.72[理学—无机化学] O782[理学—化学]