基于MEMS技术的红外成像焦平面阵列  

A MEMS Based Focus Plane Array for Infrared Imaging

作　　者：李超波[1] 焦斌斌[1] 石莎莉[1] 叶甜春[1] 陈大鹏[1] 张青川[2] 郭哲颖[2] 董凤良[2] 伍小平[2] 

机构地区：[1]中国科学院微电子研究所微细加工与纳米技术研究室,北京100029 [2]中国科学技术大学中国科学院材料力学行为和设计重点实验室,合肥230037

出　　处：《Journal of Semiconductors》2006年第1期150-155,共6页半导体学报（英文版）

基　　金：国家自然科学基金(批准号:60236010);国家高技术研究发展计划(批准号:2005AA404210)资助项目~~

摘　　要：选用Au和LPCVD的低应力Si Nx薄膜材料,采用MEMS技术研制了新型间隔镀金热隔离结构的薄膜镂空式非制冷红外成像焦平面阵列,并应用光学读出的方法成功地在室温(27.47℃)背景下获得了人体的热像.实验证明间隔镀金热隔离结构的引入有效抑制了热传导对变形梁温升的限制,从而大大降低了系统的噪声等效温度差(NETD),NETD达到约200mK.Based on the opto-mechanical effect and MEMS technology,a novel substrate-free FPA with a thermally isolated structure for uncooled infrared imaging is developed, Alternately evaporating Au on a SiN, cantilever is used for thermal isolation, A human＇s thermal image is obtained successfully using the infrared imaging system composed of the FPA and optical detection system. Experimental results show that the realization of thermal isolation in the substrate-free FPA increases the temperature of the deflecting leg effectively,while the NETD is about 200mK.

关 键 词：微机械 焦平面阵列 光力学 低压化学气相淀积 氮化硅 噪声等效温度差 

分 类 号：TN215[电子电信—物理电子学]