郭哲颖

作品数：10被引量：45H指数：6
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供职机构：中国科学技术大学工程科学学院中科院材料力学行为和设计重点实验室更多>>
发文主题：光学读出非制冷红外成像红外成像微悬臂梁成像技术更多>>
发文领域：电子电信理学一般工业技术更多>>
发文期刊：《实验力学》《Journal of Semiconductors》《红外与毫米波学报》《物理学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
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光机械式红外探测器中镜面弯曲对探测灵敏度的影响(英文)
《实验力学》2007年第3期350-358,共9页缪正宇 张青川 伍小平 陈大鹏 郭哲颖 董凤良 熊志铭 李超波 焦斌斌 
国家自然科学重点基金(No 10232030 ,50076040 ,10472111)
光学读出式红外成像技术是近年来研究的热点,本文讨论了镜面弯曲对光学检测灵敏度的影响。由双材料微悬臂梁组成的非致冷焦平面阵列通过体刻蚀工艺加工而成,由于残余应力的影响,制成的焦平面阵列将会发生弯曲,应力导致的镜面弯曲将会降...
关键词：光学读出 焦平面阵列 镜面弯曲 
光学读出微梁阵列红外成像及性能分析被引量：13
《物理学报》2007年第5期2529-2536,共8页熊志铭 张青川 陈大鹏 伍小平 郭哲颖 董凤良 缪正宇 李超波 
国家自然科学基金(批准号:10232030;50076040和10472111)资助的课题~~
在构建的光学读出微梁阵列(焦平面阵列FPA)非制冷红外成像系统中,实现了无硅基底FPA置于空气中对人体的热成像.通过FPA在不同真空度环境条件下的成像结果进行比较,分析了热导和系统噪声值随气压变化的关系,以及对系统成像性能的影响,并...
关键词：非制冷红外成像 光学读出 双材料微梁阵列 热导 
微梁传感器弹性模量的测试被引量：4
《中国科学技术大学学报》2006年第5期567-572,共6页张天林 郭哲颖 张青川 张泰华 何世平 
国家自然科学基金(10232030)资助
利用一种静态和两种动态的检测技术,对红外辐射探测微悬臂梁式传感器材料的弹性模量进行了测试研究.在静态检测实验中,利用纳米硬度计直接测出传感器材料的弹性模量;在动态实验中,分别利用谱平面光学滤波法和多普勒测振仪得到微悬臂梁...
关键词：微悬臂梁式传感器 红外探测器 弹性模量 谱面滤波 多普勒测振仪 纳米硬度计 
双材料微梁阵列室温物体红外成像被引量：21
《物理学报》2006年第7期3208-3214,共7页缪正宇 张青川 陈大鹏 伍小平 李超波 郭哲颖 董凤良 熊志铭 
国家重点基础研究发展计划(973)计划(批准号:2006CB300404);国家自然科学基金(批准号:10232030;50076040和10472111)资助的课题.~~
针对近年出现的新概念光学读出双材料微梁阵列红外成像技术,提出了具有热变形放大效果的无硅基底回折腿间隔镀金的微梁单元结构,并建立了其热机械模型,在模型分析基础上,成功的设计制作了100×100像素的焦平面阵列(focalplanearray,FPA)...
关键词：非制冷红外成像 光学读出 双材料微梁阵列 
基于MEMS技术的红外成像焦平面阵列被引量：7
《Journal of Semiconductors》2006年第1期150-155,共6页李超波 焦斌斌 石莎莉 叶甜春 陈大鹏 张青川 郭哲颖 董凤良 伍小平 
国家自然科学基金(批准号:60236010);国家高技术研究发展计划(批准号:2005AA404210)资助项目~~
选用Au和LPCVD的低应力Si Nx薄膜材料,采用MEMS技术研制了新型间隔镀金热隔离结构的薄膜镂空式非制冷红外成像焦平面阵列,并应用光学读出的方法成功地在室温(27.47℃)背景下获得了人体的热像.实验证明间隔镀金热隔离结构的引入有效抑制...
关键词：微机械 焦平面阵列 光力学 低压化学气相淀积 氮化硅 噪声等效温度差 
双材料微梁阵列非制冷红外成像系统——微梁阵列的设计与制作被引量：8
《红外与毫米波学报》2005年第6期409-413,共5页董凤良 张青川 伍小平 潘亮 郭哲颖 陈大鹏 王玮冰 段志辉 
自然科学重点基金(10232030);基金(50076040和10472111)资助项目
给出了一种用于非制冷光学读出红外探测器的核心器件———双材料微悬臂梁阵列的设计和制作.微梁阵列是无硅基底的S iNx/Au双材料单层膜结构,其制作工艺简单、可以直接放在空气中成像.实验使用了设计制作的140×98微梁阵列和高信噪比的1...
关键词：非制冷红外成像 光学读出 双材料微悬臂梁阵列 
双材料微梁阵列非制冷红外成像技术——微梁阵列的设计与制作被引量：2
《实验力学》2005年第B12期35-42,共8页董凤良 潘亮 张青川 伍小平 陈大鹏 王玮冰 郭哲颖 
本项目是在自然科学重点基金（10232030）和面上基金（50076040和10472111）的支持下完成的
本文给出了一种用于非制冷光学读出红外探测器的核心器件——微悬臂梁阵列的设计和制作，它是SiNx／Au双材料单层膜结构，简化制作工艺、可以直接在空气中成像。实验使用了设计制作的140×98微梁阵列和高信噪比的12-bitCCD，得到120℃...
关键词：非制冷红外成像 光学读出 双材料微悬臂梁阵列 
双材料微梁阵列非制冷红外成像技术——微梁阵列热变形的光学读出被引量：2
《实验力学》2005年第B12期4-10,共7页郭哲颖 段志辉 张青川 伍小平 董凤良 潘亮 陈大鹏 王玮冰 
本项目是在自然科学重点基金（10232030）和面上基金（50076040和10472111）的支持下完成的
针对双材料微梁阵列非制冷红外成像技术的光学读出系统，提出了在谱平面上进行刀口滤波将阵列转角转化为像平面上光强变化的高灵敏度测量技术，并对光学探测灵敏度进行了理论分析。利用该光学读出系统在实验中得到了120℃红外物体的热...
关键词：双材料微悬臂梁 非制冷红外成像 光学读出 
光学读出室温物体红外成像被引量：10
《实验力学》2005年第2期213-218,共6页郭哲颖 张青川 陈大鹏 伍小平 董凤良 缪正宇 熊志铭 李超波 
国家自然科学重点基金(10232030)和面上基金(50076040和10472111)资助项目
光学读出式红外成像系统是近年来提出的一种新型红外成像技术,它是基于探测双材料微悬臂梁吸收红外辐射后的变形。本文采用了谱平面刀口滤波方法,将双材料(SiNx/Au)微梁阵列接收热像后的转角变形转化为像平面上微梁阵列的像所对应的光...
关键词：微悬臂梁 红外成像 光学读出 光电效应 
基于MEMS的光力学红外成像被引量：22
《实验力学》2004年第4期403-407,共5页潘亮 张青川 伍小平 段志辉 陈大鹏 王玮冰 郭哲颖 
国家自然科学基金项目 (5 0 0 76 0 40和 1 0 2 32 0 30 )资助
非制冷红外成像仪以其优良的性价比和高可靠性而倍受关注。近期 ,非制冷的热机械型红外成像仪有望发展成为新的低价格高性能的红外成像设备。本文提出了一种新型光学读出的红外探测仪。此红外探测仪的核心器件焦平面阵列 (FPA)由无硅基...
关键词：非制冷 微悬臂梁 红外探测仪 像素数 红外成像系统 读出电路 光力学 FPA 近期 左右 
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