多芯片模块制作工艺  

作　　者：曾毅[1] 

机构地区：[1]西南科技大学

出　　处：《电气制造》2007年第7期70-74,共5页

摘　　要：多芯片模块(MCM)就是将多块半导体裸芯片组装在一块布线基板上的一种封装。根据基板材料可分为MCM—L,MCM—C和MCM—D三大类。MCM—L是使用通常的玻璃环氧树脂多层印制基板的组件,布线密度不怎么高,成本较低。MCM—C是用厚膜技术形成多层布线,以陶瓷(氧化铝或玻璃陶瓷)作为基板的组件,与使用多层陶瓷基板的厚膜混合IC类似,两者无明显差别,布线密度高于MCM—L。MCM—D是用薄膜技术形成多层布线,以陶瓷(氧化铝或氮化铝)或Si、Al作为基板的组件,布线密度在三种组件中是最高的,但成本也高。详细地介绍了对多芯片组装工艺的一些经验。

关 键 词：多芯片模块 制作工艺 MCM-D 基板材料 布线密度 玻璃陶瓷 多层陶瓷基板 多层布线 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]