Ⅲ-Ⅴ族化合物与CMOS：逻辑的选择？  

作　　者：邓志杰（摘译） 

出　　处：《现代材料动态》2008年第8期15-16,共2页Information of Advanced Materials

摘　　要：如果你想了解SiCMOS工艺的将来，那么IEDM（国际电子器件会议）是值得一去的“地方”。IEDM每年12月份交替在华盛顿和旧金山举行，已有50多年的历史了。一些关键性的半导体工艺常常在该会议上“出现”。2007年会议的与会者又在共同关注微电子工艺中的一个最大的问题——如何为Si逻辑（工艺）寻找一个“替代品”。此次会议上化合物半导体受到极大关注。

关 键 词：CMOS工艺 Ⅲ-Ⅴ族化合物 逻辑 化合物半导体 IEDM 半导体工艺 微电子工艺 电子器件 

分 类 号：TN929.11[电子电信—通信与信息系统] TN304.23[电子电信—信息与通信工程]