基于MEMS技术的SU-8仿昆虫微扑翼飞行器设计及制作  

Design and Fabrication of an SU-8 Biomimetic Flapping-wing Micro Air Vehicle by MEMS Technology

作　　者：迟鹏程[1] 张卫平[1] 陈文元[1] 李洪谊[2] 孟坤[1] 崔峰[1] 刘武[1] 吴校生[1] 

机构地区：[1]上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海200030 [2]中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室,辽宁沈阳110016

出　　处：《机器人》2011年第3期366-370,共5页Robot

基　　金：国家863计划资助项目(2009AA04Z203);机器人学国家重点实验室开放基金资助项目(R20200904);上海交通大学SMC基金资助项目(T241460622)

摘　　要：为研制一种轻质仿昆虫微扑翼飞行器,提出了采用微机电系统(MEMS)领域的SU-8光刻胶作为结构材料的制作方案.基于仿生学原理和微机电系统加工技术,设计微扑翼飞行器结构及MEMS工艺方法.研究结果表明,该种结构设计及制作方案满足设计要求,为仿昆虫微扑翼飞行器的研制提供了一种很好的途径.To develop a light biomimetic flapping-wing micro air vehicle,SU-8 photoresist in micro-electromechanical system（MEMS）field is used as its structural materials.Based on the bionics principle and MEMS technology,the structure and MEMS fabrication process are designed.The results show that this kind of structural design and production solution meet design requirements,and provide a good way for design and fabrication of flapping-wing micro air vehicle.

关 键 词：微扑翼飞行器 SU-8 MEMS 仿生机器人 

分 类 号：TP242[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]