微米／纳米驱动及控制技术  

Micro/Nanometre Drive and Control Technology

作　　者：蔡鹤皋[1] 孙立宁[1] 安辉[1] 张涛[1] 

机构地区：[1]哈尔滨工业大学

出　　处：《仪器仪表学报》1996年第S1期185-188,192,共5页Chinese Journal of Scientific Instrument

摘　　要：微米／纳米驱动及控制技术是纳米技术发展的基础。本文介绍了微米／纳米驱动及控制的国内外发展状况及哈工大在微米／纳米驱动方面的研究工作，并提出了今后的发展策略。Micro/Nanometre drive and control technology is the development of nanometre technology.This paper describes the status of micro/nanometre drive and control technology home and aboard,and the research workon micro/nanometre in Harbin institute of Technology.Develop tactics is put forward in the end.

关 键 词：纳米驱动 控制技术 纳米技术 压电陶瓷驱动 纳米材料 微型机电系统 微驱动 控制器 微机器人 控制系统 

分 类 号：TP21[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]