微型机械和微机器人的发展状况  

作　　者：蔡鹤皋[1] 孙立宁[1] 安辉[1] 张涛[1] 

机构地区：[1]哈尔滨工业大学

出　　处：《仪器仪表学报》1995年第S1期38-41,共4页Chinese Journal of Scientific Instrument

摘　　要：微型机械和微机器人的发展状况蔡鹤皋，孙立宁，安辉，张涛（哈尔滨工业大学）０引言近年来，国外在微型机构的开发和研究方面出现一个新兴的势头，即微机械电子学，利用ＩＣ的微细加工技术，将机构、传感器、控制器等集成在一个多晶硅片上，不仅将传统的无源机构变为有源...

关 键 词：微机器人 微型机械 微型机器人系统 发展状况 微型机构 装配机器人 微动机器人 压电陶瓷驱动 微机械电子学 应用领域 

分 类 号：TP242[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]