扫描电镜的模糊──非线性积分控制  

作　　者：杨振强[1] 张卯瑞[1] 王常虹[1] 庄显义[1] 

机构地区：[1]哈尔滨工业大学

出　　处：《黑龙江自动化技术与应用》1999年第3期11-13,共3页

摘　　要：本文提出了一种模糊──非线性积分调节器，采用具有38．1°相位滞后的非线性积分器，以提高系统的瞬态响应性能，消除稳态误差。并将它用于扫描电镜的控制问题。仿真结果表明，这一方法得到了较好的效果。

关 键 词：模糊控制器 非线性积分器 扫描电镜 积分控制 

分 类 号：TM571.6[电气工程—电器]