微机械硅加速度计的性能分析  

CHARACTERIZATION OF MICRO-MECHANICAL SILICON ACCELEROMETER

作　　者：贺玲[1] 薛大同[1] 

机构地区：[1]兰州物理研究所,甘肃兰州730000

出　　处：《真空与低温》2003年第2期63-70,共8页Vacuum and Cryogenics

摘　　要：介绍了各种类型的微机械硅加速度计的工作原理及特性,通过比较各类型硅加速度计的优劣,提出了高灵敏度硅加速度计的设计思路及实现方法。The basical principles and characterizations of micro\|mechanical silicon accelerometer are introduced. The design project of high precision silicon accelerometer is presented by comparing various silicon accelerometers.\;

关 键 词：微机械 硅加速度计 性能分析 工作原理 微机电系统 微加速度传感器 MEMS 

分 类 号：TH824.4[机械工程—仪器科学与技术]