硅加速度计

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关于指叉式微型硅加速度传感器的综述
《电子元器件与信息技术》2020年第11期5-6,共2页朱洪德 沈雪明 
本文对基于微机电系统(MEMS)的指叉式微机械硅加速度计(FMSA)进行了综述。本文展示了电容式加速度计的原理,提出了科学问题并尝试给出不同的解决方案,并介绍了在技术产品领域广泛使用的特定应用程序。
关键词：指型 硅加速度计MEMS 汽车安全气囊 Airpods MEMS麦克风 
压阻式硅加速度计固有频率的解析计算
《上海电机学院学报》2012年第5期312-316,324,共6页邹海荣 
国家自然科学基金项目资助(60801048);上海市教育委员会重点学科资助(J51901)
固有频率对硅加速度计的性能影响很大。针对目前硅加速度计的固有频率计算公式误差大的缺点,利用力学原理推导了悬臂梁式和双端梁式硅加速度计固有频率的计算公式。计算结果与有限元软件仿真分析的结果相符。推导的公式能快速准确地计...
关键词：压阻式 硅加速度计 固有频率 悬臂梁 双端梁 
微硅加速度计中静电键合封接技术的应用
《电子机械工程》2005年第3期40-41,共2页邓宏论 
在微硅加速度计的研制中,静电键合具有传统胶接技术所无法比拟的优点,是目前该加速度计研制中广泛应用的粘接技术。叙述了静电键合技术的机理和它在微硅加速度计装配中的具体工艺流程,指明了技术的关键之处,并分析了该技术的优缺点,提...
关键词：静电键合 化学键 微硅加速度计 
MEMS电容传感器小电容的测量
《测试技术学报》2004年第z3期12-14,共3页莫邦燹 倪学文 项斌 朱晖 宁宝俊 张广勤 
本文首先介绍了一种MEMS电容式微硅加速度计的结构和等效电路,阐述了开关电容放大器的工作原理和输出电压与电容的关系,重点讨论了用开关电容技术测量微硅加速度计小电容的方法.
关键词：MEMS电容传感器 微硅加速度计 开关电容放大器 电容测量 
微硅加速度计在定向钻进角度测量中的应用被引量：4
《国防科技大学学报》2004年第2期75-78,共4页徐涛 罗武胜 吕海宝 董文娟 
国家863基金资助项目(2003AA430120)
针对地下定向钻进角度测量的特殊要求,提出了用一个单轴和双轴微硅加速度计测量地下钻头倾角和面向角的方法,组建了角度测量系统,给出温度补偿措施及相应的实验结果。结果表明,系统不仅具有体积小、成本低等优点,而且系统精度优于1℃,...
关键词：加速度计 定向钻 倾角 面向角 温度补偿 
叉指式微硅加速度计的参数化设计被引量：1
《微纳电子技术》2003年第7期277-280,共4页刘宗林 吴学忠 李圣怡 
详细阐述了微硅加速度计的原理 ,根据材料力学以及结构动力学原理 ,分析了叉指式驱动 /检测结构的动力学模型 ,推导了等效质量、等效阻尼、等效刚度等关键参数模型 ,分析了灵敏度、横向干扰等和结构参数的关系 ,为微硅加速度计的优化设...
关键词：叉指式微硅加速度计 参数化设计 叉指驱动 微机电系统 弹性系数 优化设计 
微机械硅加速度计的性能分析被引量：2
《真空与低温》2003年第2期63-70,共8页贺玲 薛大同 
介绍了各种类型的微机械硅加速度计的工作原理及特性,通过比较各类型硅加速度计的优劣,提出了高灵敏度硅加速度计的设计思路及实现方法。
关键词：微机械 硅加速度计 性能分析 工作原理 微机电系统 微加速度传感器 MEMS 
一种高精度微硅加速度计的模态分析与模拟验证被引量：2
《微电子学与计算机》2003年第4期70-72,共3页魏海龙 单光宝 刘建朝 
文章介绍了一种“轿式”结构高精度微硅加速度计的总体结构。从振动机理出发,重点分析该加速度计的振动模态与结构参数的关系,得出了两者之间的函数关系,利用Ansys结构分析软件对其进行了模拟验证。
关键词：高精度微硅加速度计 模态分析 模拟验证 有限元分析 工作原理 
硅加速度计在末制导炮弹测试中的应用被引量：4
《弹箭与制导学报》2003年第1期91-93,共3页孙志明 
文中着重于在小动态范围情况下炮射导弹抗高过载的测试问题。详细介绍了3255型硅加速度计的构成和工作原理及其简要的结构特点;尤其关于硅加速度计在弹道测试中的应用;给出了测试曲线和安装工艺;得出了结论。
关键词：硅加速度计 末制导炮弹 弹道测试 传感器 
微硅加速度计技术综述被引量：2
《飞航导弹》2002年第9期44-47,共4页顾英 赵连元 
综述了微硅加速度计的发展概况 ,叙述了力平衡式微硅加速度计的基本原理、国外一些厂家的研制情况和对战术级微型惯性测量装置的推动作用 。
关键词：微硅加速度计 惯性测量装置 工作原理 
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