微机械惯性传感器的技术现状及展望  

Present state and perspectives of micromachined inertial sensors

作　　者：刘危[1] 解旭辉[1] 李圣怡[1] 

机构地区：[1]长沙国防科技大学,湖南长沙410073

出　　处：《光学精密工程》2003年第5期425-431,共7页Optics and Precision Engineering

基　　金：国防预研项目(No.18YXGFKD118)

摘　　要：对微机械惯性传感器—微加速度计和微陀螺的技术现状进行了评述。根据其不同的技术实现,诸如制造过程、工作原理、控制系统、接口技术等对其进行了分类描述。这些微传感器的用途很广,而且相对于其传统器件来说有低成本、小尺寸、低功耗等特点,正在全世界范围内被广泛研究。最后,对微机械传感器领域的一些新的进展进行了讨论,并提出了展望。A review is given to the present state of micromachined inertial sensor-micro-accelerometers and micro-gyro. These sensors have a number of significant advantages, such as lower cost, smaller form factor and lower power consumption. Their manufacturing process, transfer mechanism, control system and interface technique are described in detail.

关 键 词：微机械 惯性传感器 微加速度计 微陀螺 技术现状 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TH824.4[自动化与计算机技术—控制科学与工程]