国家自然科学基金(50773014)

作品数：6被引量：8H指数：2
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相关作者：张丽丽王颖张宏森王颖张丽丽更多>>
相关机构：哈尔滨工程大学黑龙江科技学院北京大学海军驻哈尔滨地区航空军事代表室更多>>
相关期刊：《材料科学与工程学报》《功能材料》《稀有金属材料与工程》《化工新型材料》更多>>
相关主题：CU互连扩散阻挡层射频反应磁控溅射热稳定性ZR更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术金属学及工艺更多>>
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医用316L不锈钢表面Ta(Ti)N涂层的制备与表征被引量：1
《化工新型材料》2011年第2期100-103,共4页聂江 戴希林 丁明惠 
国家自然科学基金资助项目(50773014);哈尔滨工程大学军品横向课题资助项目(JH2010021;JH2010022)
采用射频磁控溅射的方法制备了Ti含量不同的Ta(Ti)N涂层并研究了涂层的微观结构和性能。扫描电子显微镜(SEM)照片显示涂层结构致密无大的孔洞。XRD结果显示无Ti掺杂的涂层为面心立方结构的TaN,Ti掺杂的Ta(Ti)N涂层随着Ti掺杂量的增加Ta...
关键词：316L不锈钢 Ta(Ti)N涂层 纳米力学性能 耐腐蚀性能 血液相容性 
溅射方式对NbN薄膜结构及热稳定性的影响被引量：1
《材料科学与工程学报》2010年第3期458-462,共5页张宏森 丁明惠 张丽丽 蒋保江 
国家自然科学基金资助项目(50773014);黑龙江省教育厅资助项目(11541282)
用射频磁控溅射和直流磁控溅射的方法分别在Si(100)衬底和Cu膜间制备了30nm的NbN薄膜,Cu/NbN/Si样品在高纯氮气保护下退火至700℃。用四探针电阻测试仪(FPP)、AFM、SEM、XRD、AES研究了溅射方式对NbN薄膜扩散阻挡性能的影响。退火前XRD...
关键词：NbN薄膜 扩散阻挡层 CU互连 磁控溅射 
Cu互连中Ta-Si-N/Zr阻挡层热稳定性的研究被引量：2
《稀有金属材料与工程》2010年第6期993-996,共4页丁明惠 毛永军 王本力 盖登宇 郑玉峰 
国家自然科学基金(50773014)
用射频反应磁控溅射的方法在Si(100)衬底和Cu膜间制备Ta-Si-N(10nm)/Zr(20nm)双层结构的扩散阻挡层。Cu/Ta-Si-N/Zr/Si样品在高纯氮气的保护下从600至800℃退火1h。通过四探针电阻测试仪(FPP)、SEM、XRD和AES研究Cu/Ta-Si-N/Zr/Si系统...
关键词：Ta-Si-N/Zr 扩散阻挡层 CU互连 射频反应磁控溅射 
Zr层插入对Ta-N扩散阻挡性能的影响被引量：4
《稀有金属材料与工程》2009年第11期2036-2038,共3页丁明惠 张丽丽 盖登宇 王颖 
国家自然科学基金项目(50773014)
在不同的沉积温度下,用射频反应磁控溅射方法在Si(100)衬底和Cu膜间制备Ta-N/Zr阻挡层,研究Zr层的插入对Ta-N扩散阻挡性能的影响。结果表明:不同沉积温度下制备的Ta-N均为非晶态结构;Zr层的插入使Ta-N阻挡层的失效温度至少提高100℃,在...
关键词：Ta-N/Zr薄膜 扩散阻挡层 CU互连 射频反应磁控溅射 
磁控溅射温度对Zr-N薄膜扩散阻挡性能的影响被引量：1
《功能材料》2008年第10期1612-1614,共3页丁明惠 张宏森 张丽丽 王颖 
国家自然科学基金资助项目(50773014)
在不同的沉积温度下,用射频反应磁控溅射的方法在Si(100)衬底和Cu膜间制备了Zr-N阻挡层。用四探针电阻测试仪(FPP)、AFM、XRD、AES研究了沉积温度对Zr-N薄膜扩散阻挡性能的影响。沉积态的XRD、AFM结果表明,随着沉积温度的升高,Zr-N薄膜...
关键词：Zr-N薄膜 扩散阻挡层 CU互连 射频反应磁控溅射 
超薄纳米晶Zr-N扩散阻挡性能及其热稳定性的研究被引量：2
《功能材料》2008年第9期1545-1548,共4页丁明惠 张丽丽 盖登宇 王颖 
国家自然科学基金资助项目(50773014);哈尔滨工程大学实验教学研究与改革立项资助项目(SJY06044)
用射频反应磁控溅射的方法在Si(100)衬底和Cu膜间制备了25nm的纳米晶Zr-N阻挡层,Cu/Zr-N/Si样品在高纯氮气保护下退火至700℃。用四探针电阻测试仪(FPP)、AFM、SEM、XRD、AES研究了溅射参数对Zr-N薄膜电阻率和扩散阻挡性能的影响。实验...
关键词：Zr-N纳米晶 扩散阻挡层 CU互连 射频反应磁控溅射 
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