国家自然科学基金(60276038)

作品数：2被引量：3H指数：1
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平面无阀微泵的设计与制作被引量：2
《哈尔滨工业大学学报》2007年第6期936-939,共4页张宇峰 张国威 刘晓为 陈伟平 王喜莲 王蔚 倪鹤南 
国家自然科学基金资助项目(60276038)
依据扩散口/喷嘴理论,设计了具有单向整流特性的无阀微泵.采用硅平面工艺、各向异性腐蚀、削角补偿和静电键合等微机械加工工艺技术,制作了平面尺寸为18 mm×13 mm的无阀微泵.经过测试,当扩散口/喷嘴长度为2.5μm、扩散口/喷嘴的窄口宽...
关键词：扩散口 喷嘴 无阀微泵 微机电系统 
基于硅各向异性腐蚀的平面沟道无阀微泵研究被引量：1
《中国机械工程》2005年第z1期119-121,共3页张国威 刘晓为 陈伟平 倪鹤南 王喜莲 
国家自然科学基金资助项目(60276038)
依据扩散口/喷嘴理论,设计了不同几何尺寸无阀微泵的扩散口/喷嘴光刻掩模版图,采用硅平面工艺、各向异性腐蚀及削角补偿等技术,制作出了多种无阀微泵.对无阀微泵泵压及流量进行了实验研究,结果表明:泵压与流量均呈现反比关系;扩散口/喷...
关键词：扩散口 喷嘴 泵压 无阀微泵 
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