国家自然科学基金(60274041)

作品数：4被引量：3H指数：1
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相关作者：张平高福斌伦凤艳刘治华李成更多>>
相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林大学郑州大学更多>>
相关期刊：《微细加工技术》《光子学报》《半导体光电》《吉林大学学报（工学版）》更多>>
相关主题：悬臂梁振动传感器复合材料储能飞轮应力分布M-Z型更多>>
相关领域：自动化与计算机技术理学电子电信更多>>
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具有初始位移的两层转子结构复合材料储能飞轮的应力及位移分析被引量：2
《吉林大学学报（工学版）》2007年第4期828-832,共5页李成 刘治华 张平 
国家自然科学基金资助项目(60274041)
因为两层转子结构飞轮一般是由内、外两层转子通过挤压组合而成,故在两层的接触面上就有初始位移。作者结合复合材料飞轮转子的结构特点,根据非均质各向异性弹性理论建立了转子的计算模型,得到带有初始位移的两层转子结构复合材料储能...
关键词：固体力学 两层转子结构 复合材料储能飞轮 初始位移 应力分布 工作转速 
集成微光机械振动传感器芯片制作工艺研究
《半导体光电》2006年第4期409-411,共3页张平 伦凤艳 王淑荣 高福斌 
国家自然科学基金资助项目(60274041)
介绍了一种新型集成微光机械振动传感器的工作原理和芯片制作工艺。以聚甲基丙烯酸甲酯为结构材料,采用旋涂和干法刻蚀技术,实现了光波导集成光路和悬臂梁-质量块微机械结构在硅基底上的集成。详细讨论了高分子聚合物微器件制作工艺中...
关键词：振动传感器 聚甲基丙烯酸甲酯 旋涂 干法刻蚀 光波导 悬臂梁 
M-Z型极化DANS聚合物电光波导强度调制器研究被引量：1
《光子学报》2006年第5期646-649,共4页高福斌 杜国同 张平 邢汝冰 
国家自然科学基金(60274041)资助
研究了Mach-Zehnder型极化聚合物电光波导强度调制器的制备工艺·器件采用DANS(4-dimethylamino-4′nitro-stlibene)聚合物为电光波导材料,由电光波导层、上下介质缓冲层、上下金属电极层构成五层波导结构·对五层光波导各层之间的光学...
关键词：DANS聚合物 电晕极化 紫外光漂白 电光波导 强度调制器 
微光机械振动传感器的设计与制作
《微细加工技术》2006年第1期61-64,共4页伦凤艳 张平 高福斌 贾宏光 
国家自然科学基金资助项目(60274041)
采用旋涂和干法刻蚀技术,制作了一种新型有机集成微光机械振动传感器,其主要结构是由在硅基上制作的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)悬臂梁和光波导集成光路组成,探测光路采用强度调制型开环差分探测,利用光-机转换功能,实现对微小振动量的检测...
关键词：振动传感器 聚甲基丙烯酸甲脂(PMMA) 悬臂梁 光波导 灵敏度 
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