国家自然科学基金(69625710)

作品数：2被引量：11H指数：2
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相关领域：理学电子电信机械工程一般工业技术更多>>
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极紫外投影光刻两镜微缩投影系统的光学设计被引量：3
《光电工程》2007年第12期113-117,共5页王丽萍 金春水 张立超 
国家自然科学基金资助项目(69625710)
极紫外投影光刻(EUVL)两镜微缩投影物镜通常采用Schwarzschild结构和平场结构。本文分析了这两种结构在EUVL不同发展阶段的设计特点,并依据有限距反射系统像差理论,从解析解出发,设计了两套平场两镜系统,分别用于对分辨力为70nm、无遮...
关键词：极紫外投影光刻 投影物镜 平场两镜系统 光学设计 光刻技术 
软X射线投影光刻技术被引量：8
《强激光与粒子束》2000年第5期559-564,共6页金春水 王占山 曹健林 
国家自然科学基金资助课题!( 6962 5 710 )
软 X射线投影光刻作为特征线宽小于 0 .1μm的集成电路制造技术 ,倍受日美两个集成电路制造设备生产大国重视。随着用于软 X射线投影光刻的无污染激光等离子体光源、高分辨率大视场投影光学系统、无应力光学装调工艺、深亚纳米级镜面加...
关键词：软X射线 投影光剂 集成电路 
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