福建省自然科学基金(2006J0032)

作品数：2被引量：1H指数：1
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MEMS开关中氮化硅薄膜工艺研究被引量：1
《福州大学学报（自然科学版）》2009年第1期50-53,共4页许淡清 于映 
福建省自然科学基金资助项目(2006J0032)
分析了沉积薄膜厚度、PECVD的薄膜沉积温度、反应气体形成的杂质以及多层薄膜之间热应力匹配等因素对薄膜残余应力的影响.应用光刻分割聚酰亚胺(PI)牺牲层、分层生长氮化硅薄膜及快速热退火等工艺减小薄膜残余应力,成功生长出了合格的...
关键词：氮化硅 薄膜 残余应力 MEMS开关 
ZnS薄膜的电沉积及表征
《福州大学学报（自然科学版）》2008年第1期73-76,共4页翁晴 程树英 
福建省自然科学基金资助项目(2006J0032);科技三项项目(2006F5062)
利用恒电位电沉积技术实现在ITO导电玻璃上沉积ZnS薄膜，用X射线粉末衍射、扫描电镜、原子力显微镜和X射线光电子能谱对制得的薄膜进行了研究．实验表明，用该方法制得的薄膜样品的主要成分是α-ZnS，薄膜表面均匀、致密和平整，平均粗...
关键词：ZNS薄膜 电沉积 XRD SEM AFM XPS 
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