中国博士后科学基金(20070410930)

作品数：3被引量：5H指数：1
导出分析报告
相关作者：谢勇君刘世元史铁林吴健康更多>>
相关机构：华中科技大学暨南大学武汉光电国家实验室(筹)武汉光电国家实验室更多>>
相关期刊：《中国机械工程》《计量与测试技术》《光电工程》更多>>
相关主题：显微干涉三维形貌幅频特性微结构测试系统更多>>
相关领域：机械工程更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-3
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
微/纳结构三维形貌高精度测试系统被引量：4
《光电工程》2010年第1期19-24,共6页谢勇君 史铁林 刘世元 
国家自然科学基金重点项目(50535030);国家自然科学基金(50775090);新世纪优秀人才支持计划(NCET-06-0639);国家博士后科学基金(20070410930);广东省自然科学基金博士研究启动项目(9451063201002281);广东高校优秀青年创新人才培育项目(LYM08019);广西制造系统与先进制造技术重点实验室开放课题基金;暨南大学青年基金项目(51208027)
为实现微/纳结构三维形貌的高精度测量,提出利用显微干涉技术和偏振技术相结合的方法来研制微/纳结构三维形貌亚纳米级精度测试系统。首先,利用五步相移干涉技术采集5幅带有π/2相移增量的干涉条纹图。然后,通过Hariharan五步相移算法...
关键词：微/纳结构 显微干涉 偏振技术 三维形貌 
一种环境可控的MEMS微结构离面动态变形测试系统被引量：1
《中国机械工程》2010年第1期67-70,共4页谢勇君 史铁林 刘世元 吴健康 
中国博士后科学基金资助项目(20070410930);国家自然科学基金资助项目(50775090);国家863高技术研究发展计划资助项目(2006AA4Z325);广东省自然科学基金博士研究启动项目(9451063201002281);广东高校优秀青年创新人才培育项目(LYM08019);广西制造系统与先进制造技术重点实验室开放课题
利用Linnik显微干涉技术和环境控制技术,研制了一套环境可控的微机电系统(MEMS)微结构离面动态变形测试系统,该系统可测量不同温度、不同压力下MEMS微结构的离面动态变形情况。测试系统的环境控制装置可提供0～300℃的温度变化和0.1～0....
关键词：MEMS微结构 动态变形 环境控制 显微干涉 
利用Linnik显微干涉技术测量微结构动态特性被引量：1
《计量与测试技术》2009年第4期4-6,共3页谢勇君 史铁林 刘世元 吴健康 
国家自然科学基金(50775090);国家博士后科学基金(No.20070410930);国家自然科学基金重点项目(No.50535030);新世纪优秀人才支持计划(No.NCET-06-0639)
为了实现微结构的离面运动、幅频特性和谐振频率等动态参数的测量,设计开发了微结构动态测试系统,采用Linnik显微干涉结构,具有放大倍率高和工作距离长的特点。首先,系统利用频闪成像技术、五步相移方法和分割线去包裹算法测量微结构离...
关键词：微结构 Linnik 显微干涉 离面运动 幅频特性 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部