MEMS微结构

作品数：17被引量：46H指数：5
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基于聚焦激波的微结构非接触式激励方法研究
《传感器与微系统》2024年第4期41-44,共4页佘东生 于震 田江平 
国家自然科学基金面上项目(52071064);辽宁省教育厅重点项目(LJKZ1009)。
为了解决MEMS微结构非接触式激励的问题,提出了一种基于聚焦激波的非接触式激励方法。该方法的基本原理是利用高压电容空气放电来产生激波,再通过半椭球腔体对激波进行聚焦,从而实现对微结构的非接触式激励。基于该方法搭建了微结构动...
关键词：聚焦激波 MEMS微结构 非接触式激励 动态特性测试 
压电陶瓷驱动的MEMS微结构底座激励方法研究
《机械设计与制造》2024年第3期31-34,共4页佘东生 陈亚男 田江平 
辽宁省自然科学基金资助计划(2019-MS-007);国家自然科学基金面上项目(52071064)。
介绍了基于压电陶瓷底座激励方法的发展现状,总结了激励方法在具体实现方式上存在的问题。压电陶瓷在工作过程中会受到横向剪切力作用,导致压电陶瓷的损坏;弹性底座反复变形会导致微结构脱落。设计了一种由带有球冠状凹槽的上联接块和...
关键词：激励方法 压电陶瓷 底座结构 动态特性测试 
引信MEMS微结构可靠性仿真及实现方法被引量：2
《探测与控制学报》2017年第4期5-11,共7页涂宏茂 孙志礼 姬广振 刘勤 
国防技术基础项目资助(Z092014B001)
针对目前引信MEMS微结构设计中缺乏高效的可靠性量化仿真方法的问题,提出了基于结构性能仿真的可靠性仿真分析及其实现方法。该方法以ANSYS软件为例给出CAE程序的集成方法和实现步骤,解决可靠性分析程序对有限元软件工具的自动调用问题...
关键词：引信可靠性 MEMS微结构 可靠性仿真 有限元方法 可靠度 
基于激波的MEMS微结构底座冲击激励方法研究被引量：6
《仪器仪表学报》2015年第8期1892-1900,共9页佘东生 杨一柳 魏泽飞 王晓东 王立鼎 
国家自然科学基金(51305191)项目资助
为了能够在较高的温度环境中测试MEMS微结构的机械模态参数，本文提出了一种以高压电容空气放电为手段，以激波冲击为特征的底座激励方法。阐述了基于激波的底座冲击方法的原理和具体实现方式，并分析了放电电容、回路电阻、回路电感等...
关键词：MEMS动态特性测试 激波 底座激励 微悬臂梁 高温环境 
MEMS微结构静态测试技术的发展及应用
《佛山科学技术学院学报（自然科学版）》2015年第3期5-9,共5页张立平 卢清华 
国家自然科学基金资助项目(51105077);广东省精密装备与制造技术重点实验室开放基金资助项目
对国内外众多学者提出的各种微几何量和微机械量的静态测试技术进行了总结,并讨论了其应用场合和测试范围,在此基础上分析得出非接触式光学测试方法受到众学者的青睐,微视觉测量是MEMS静态测试技术的一个主要发展方向。
关键词：MEMS 静态测试 微几何 微机械 微视觉测量 
基于改进的各向异性SUSAN算法的MEMS微结构图像滤波被引量：1
《激光技术》2015年第1期85-89,共5页罗元 蔡祖嫘 张毅 
国家自然科学基金资助项目(51075420)
为了改善在滤除微机电系统微结构图像的噪声时导致边缘模糊的问题,提出了一种改进的各向异性SUSAN滤波算法。该方法用独立强度传播模型决定长短轴的方差,由该点的梯度方向决定滤波器的长轴方向,由局部图像的灰度值与核值的差构成的局部...
关键词：图像处理 模糊图像 各向异性滤波 SUSAN滤波 微机电系统 
基于SVD的MEMS微结构位移测量新算法被引量：1
《科技导报》2013年第17期25-28,共4页胡章芳 计超 罗元 
国家自然科学基金项目(51075420)
为实现MEMS微结构周期运动过程中平面运动位移测量及其动态特性参数的高分辨力测量,本文针对频闪成像技术获得的微结构运动图像序列,提出一种基于相位相关技术与奇异值分解技术相结合的亚像素测量方法。该方法通过相位相关技术将图像的...
关键词：微机电系统 相位相关 奇异值分解 亚像素 
静电激励MEMS微结构吸合电压尺寸效应研究被引量：6
《固体力学学报》2011年第6期541-548,共8页王炳雷 周慎杰 赵俊峰 陈曦 
山东省自然科学基金(Y2007F20);山东大学自主创新基金(31410071614089);美国国家科学基金(CMMI-0643726);教育部长江学者项目资助
基于应变梯度弹性理论,研究了静电激励MEMS微结构吸合电压的尺寸效应.利用最小势能原理分别推导出含尺寸效应的一维梁模型和二维板模型的高阶控制方程.采用广义微分求积法和拟弧长算法对控制方程进行了数值求解.结果表明,随着结构尺寸...
关键词：尺寸效应 应变梯度理论 微机械系统 吸合电压 
MEMS器件平板运动结构的空气阻尼分析被引量：1
《西安工业大学学报》2010年第4期310-314,共5页张雄星 王伟 彭首军 
为保证常压封装的MEMS器件有期望的动态特性,需分析微结构的空气阻尼效应.采用ANSYS对运动板间空气阻尼进行了仿真分析.建立了压膜阻尼模型,利用稳态分析和谐波分析分别确定低频和高频工作时的阻尼效应,分析了运动板工作频率、速度、材...
关键词：MEMS微结构 平板运动 空气阻尼 压膜阻尼 
一种环境可控的MEMS微结构离面动态变形测试系统被引量：1
《中国机械工程》2010年第1期67-70,共4页谢勇君 史铁林 刘世元 吴健康 
中国博士后科学基金资助项目(20070410930);国家自然科学基金资助项目(50775090);国家863高技术研究发展计划资助项目(2006AA4Z325);广东省自然科学基金博士研究启动项目(9451063201002281);广东高校优秀青年创新人才培育项目(LYM08019);广西制造系统与先进制造技术重点实验室开放课题
利用Linnik显微干涉技术和环境控制技术,研制了一套环境可控的微机电系统(MEMS)微结构离面动态变形测试系统,该系统可测量不同温度、不同压力下MEMS微结构的离面动态变形情况。测试系统的环境控制装置可提供0～300℃的温度变化和0.1～0....
关键词：MEMS微结构 动态变形 环境控制 显微干涉 
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