“十一五”国家科技支撑计划(2006BAK03A02)

作品数：36被引量：216H指数：9
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相关作者：巴音贺希格李文昊唐玉国齐向东孔鹏更多>>
相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院研究生院中国科学院中国科学技术大学更多>>
相关期刊：《光子学报》《光谱学与光谱分析》《中国激光》《物理学报》更多>>
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衍射光栅刻划机精密工作台定位特征识别试验研究
《振动与冲击》2013年第1期89-93,98,共6页金一 竺长安 
"十一五"国家科技支撑计划重大项目(2006BAK03A02);国家重大科研装备研制项目(ZBYZ2008-1);中国科学院重大科研装备研制项目(YZ200804)
针对机械式衍射光栅刻划机精密定位工作台定位过程中产生的振动信号特性与光学性能指标(杂散光强度和波前质量)之间的关系,提出利用改进的Hilbert-Huang变换(HHT)获得的时频谱和边际谱对超精密工作台精定位特性进行研究。首先,给出了基...
关键词：衍射光栅刻划机 精密定位 Hilbert-Huang变换(HHT) 特征识别 试验研究 
凹面光栅衍射效率测试仪精度分析和优化被引量：7
《光学精密工程》2012年第6期1225-1232,共8页寇婕婷 吴娜 巴音贺希格 唐玉国 齐向东 于宏柱 
国家自然科学基金资助项目(No.60478043);"十一五"国家科技支撑计划重大项目(No.2006BAK03A02);中国科学院重大科研装备研制资助项目(No.YZ200804);吉林省科技发展计划资助项目(No.20070523;20086013);吉林省重大科技攻关项目(No.09ZDGG005);长春市应用技术研究计划资助项目(No.08YJ07)
分析和优化了凹面光栅衍射效率自动测试仪的测量精度,以提高凹面光栅相对衍射效率测量结果的准确性。根据凹面光栅相对衍射效率测量原理,对凹面光栅出射光谱增宽、衍射光束截面变化、光源辐射亮度的控制和测量波长同步精度等影响测量准...
关键词：凹面光栅 衍射效率 精度分析 结果优化 
全息光栅制作中光栅掩模形状随曝光量及干涉场条纹对比度的变化规律被引量：9
《光学学报》2012年第3期1-7,共7页韩建 巴音贺希格 李文昊 孔鹏 
国家自然科学基金(60478034);"十一五"国家科技支撑计划重大项目(2006BAK03A02);吉林省科技发展计划项目(20070523;20086013)资助课题
为了在光栅制作中对光栅掩模占宽比及槽深加以控制,结合光刻胶在显影过程中的非线性特性,建立了光栅掩模槽形演化的数学模型,由此分析和模拟曝光量、条纹对比度对光栅槽形的影响。结果表明:在显影条件确定时,光栅掩模占宽比随光刻胶曝...
关键词：光栅 曝光量 条纹对比度 占宽比 槽深 
小型宽波段凹面全息光栅单色仪的优化设计被引量：4
《光学学报》2012年第2期248-254,共7页曾瑾 巴音贺希格 李文昊 李林 王光珍 王丽莉 孔德鹏 姬江军 张亚军 
国家自然科学基金(60478034);“十一五”国家科技支撑计划重大项目(2006BAK03A02);吉林省科技发展计划项目(20070523、20086013);国家创新方法工作专项项目(2008IM040700)资助课题
随着户外物性分析实验的日渐增多,开发轻小型、便携式,且响应波段范围宽的光谱仪器的需求越来越迫切。根据凹面全息光栅均方根优化理论,设计了一款轻小型宽波段单色仪。该单色仪主要由三块IV型凹面全息光栅和上下两层可旋转的平台组成,...
关键词：光栅 凹面全息光栅 单色仪 消像差 
I型全息凹面光栅制作误差对光谱像的影响分析被引量：3
《光子学报》2011年第6期843-846,共4页孔鹏 巴音贺希格 李文昊 唐玉国 崔锦江 
国家自然科学基金(No.60478034);"十一五"国家科技支撑计划重大项目(No.2006BAK03A02);吉林省科技发展计划项目(No.20070523;No.20086013)资助
通过对I型全息凹面光栅制作参量误差对光谱像的影响进行数值计算发现:1)两记录臂长的相对误差而不是绝对误差决定光谱像的展宽程度,即使绝对误差较大,只要两记录臂长的误差值相同,像宽也没有明显改变;2)由于I型光栅的记录臂一般较长,记...
关键词：光谱仪 衍射光栅 全息 罗兰圆 光栅制作 
大型衍射光栅刻划机控制系统研究被引量：6
《中国科学技术大学学报》2011年第6期560-564,共5页刘栋材 申远 钟俊 齐向东 于海利 竺长安 
"十一五"国家科技支撑计划重大项目(2006BAK03A02);国家重大科研装备研制项目(ZBYZ2008-1);中国科学院重大科研装备研制项目(YZ200804)资助
介绍了大型高精度衍射光栅刻划机的机械结构及其控制系统设计,并针对具有复杂机械结构的控制系统研究了一种新的仿真方法.通过利用Pro/Mechanism模块中的Custom Load(定制负荷)插件实现控制算法,从而在虚拟样机上实现运动控制的仿真.采...
关键词：高精度光栅 机械结构 控制系统 定制负荷 
曲率半径误差对平场全息凹面光栅分辨率的影响及其补偿方法被引量：1
《光谱学与光谱分析》2011年第5期1435-1438,共4页孔鹏 巴音贺希格 李文昊 唐玉国 崔锦江 
国家自然科学基金项目(60478034);"十一五"国家科技支撑计划重大项目(2006BAK03A02);吉林省科技发展计划项目(20070523;20086013)资助
在平场凹面全息光栅的设计制作中,不可避免的存在曲率半径误差,严重影响光栅光谱仪的分辨率。为了从理论上分析并指导光谱仪器的设计和装调,运用几何光线追迹方法计算并分析了不同曲率半径误差下光谱像宽度的变化规律,发现在一个较大的...
关键词：光谱仪 衍射光栅 全息 平场 光栅制作 
Ⅳ型凹面全息光栅参数误差对光谱性能的影响及补偿被引量：4
《光学学报》2011年第10期42-48,共7页曾瑾 巴音贺希格 李文昊 张金平 
国家自然科学基金(60478034);"十一五"国家科技支撑计划重大项目(2006BAK03A02);吉林省科技发展计划项目(20070523;20086013);国家创新方法工作专项项目(2008IM040700)资助课题
在Ⅳ型凹面全息光栅制作和使用过程中,各参数误差会影响其光谱性能。光栅均方根法优化函数表达式复杂且不能给出光谱的带宽。由费马原理推导出一种数值处理较为简单且能直接描述光谱带宽的光栅优化函数———平方和法优化函数,验证了该...
关键词：光栅 凹面全息光栅 误差补偿 光谱带宽 
平面全息光栅刻线密度的倍频式调整方法被引量：6
《光学学报》2011年第10期31-36,共6页韩建 巴音贺希格 李文昊 孔鹏 
国家自然科学基金(60478034);"十一五"国家科技支撑计划重大项目(2006BAK03A02);吉林省科技发展计划项目(20070523和20086013)资助课题
刻线密度准确与否直接影响光栅色散及给定波长的衍射方向,进而影响光谱仪器结构设计。为了提高全息光栅刻线密度的制作精度,提出了平面全息光栅刻线密度的倍频式调整方法。将给定刻线密度的基准光栅放在干涉场曝光区域内,调节光束干涉角...
关键词：衍射与光栅 刻线密度 莫尔条纹 调整误差 
宽波段全息罗兰光栅的优化被引量：9
《中国激光》2011年第4期220-224,共5页孔鹏 巴音贺希格 李文昊 唐玉国 崔锦江 
国家自然科学基金(60478034);"十一五"国家科技支撑计划(2006BAK03A02);国家创新方法工作专项(2008IM040700);吉林省科技发展计划(20070523;20086013)资助课题
罗兰光栅存在的主要像差是像散和弧矢彗差,影响其光通量和光谱分辨率。根据凹面全息光栅的几何像差理论,分析了记录光源点在罗兰圆外所制作的全息罗兰光栅的宽波段像差特性。发现像散和弧矢彗差能够在两个波长处被同时消除;并且在两波...
关键词：光栅 全息 罗兰圆 像差校正 宽波段 
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