武汉市青年科技晨光计划(20035002016-15)

作品数:3被引量:14H指数:2
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飞秒激光沉积β-FeSi_2/Si半导体膜及光学性能研究被引量:2
《无机材料学报》2007年第3期545-549,共5页周幼华 陆培祥 杨光 杨义发 郑启光 
博士点基金(20040487006);武汉市青年晨光计划(20035002016-15)
采用飞秒脉冲激光沉积法在Si(100)和Si(111)单晶基片上制备了均匀的单相β-FeSi2薄膜;用X射线衍射(XRD),场扫描电镜(FESEM),能谱仪(EDX),傅立叶红外拉曼谱仪(FTRIS)研究了薄膜的结构、组分、表面形貌和光学性能.观察到了β-FeSi2在Si...
关键词:Β-FESI2 飞秒 脉冲激光沉积法(PLD) 光致发光 
脉冲激光沉积β-FeSi_2/Si(111)薄膜的工艺条件被引量:8
《中国激光》2006年第9期1277-1281,共5页周幼华 陆培祥 龙华 杨光 郑启光 
武汉市青年晨光计划(20035002016-15)资助项目
用FeSi2合金靶作为靶材,采用准分子激光沉积法在Si(111)单晶基片上制备了单相的p-FeSi2薄膜,并将飞秒脉冲激光沉积法(PLD)引入到β-FeSi2薄膜的制备工艺中;用X射线衍射仪(XRD),场扫描电镜(FSEM),能谱仪(EDS),紫外可见...
关键词:薄膜 Β-FESI2 脉冲激光沉积法 飞秒激光 
飞秒脉冲激光沉积Si基α轴择优取向的钛酸铋铁电薄膜及Ⅰ-Ⅴ特性研究被引量:4
《无机材料学报》2006年第5期1230-1236,共7页周幼华 郑启光 杨光 龙华 陆培祥 
武汉市青年晨光计划(20035002016-15)
采用飞秒脉冲激光沉积系统,在Si(111)衬底上制备了a轴和c轴择优取向的Bi4Ti3O12薄膜.X射线衍射(XRD)表明:室温(20℃)下沉积的Bi4Ti3O12/Si(111)薄膜呈c轴择优取向,晶粒的平均直径为20nm.在500℃沉积的Bi4Ti3O12/Si(111)薄膜呈a轴择...
关键词:飞秒 脉冲激光沉积法(PLD) 钛酸铋 铁电薄膜 
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