辽宁省高等学校优秀人才支持计划(LJQ2011132)

作品数：3被引量：9H指数：2
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相关期刊：《系统仿真学报》《制造业自动化》《中国人民公安大学学报（自然科学版）》更多>>
相关主题：半导体制造集束型装备可调度性分析晶圆线性规划模型更多>>
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刑事案件的属性约简聚类算法研究
《中国人民公安大学学报（自然科学版）》2015年第1期73-76,共4页卢睿 
公安部软科学项目(2011LLYJLNST049);辽宁省高等学校优秀人才支持计划(LJQ2011132)的阶段性研究成果
为发现刑事案件的发案规律与特点,从而及时预防和打击犯罪,提出了刑事案件的属性约简K-means聚类算法。该算法应用粗糙集的属性约简算法消除冗余属性,利用各属性的重要度确定其权值,并在此基础上以改进的K-means聚类算法进行聚类分析。...
关键词：粗糙集 属性约简 属性重要度 聚类 刑事案件分析 
集束型半导体装备调度系统架构模型被引量：2
《制造业自动化》2015年第2期103-107,共5页卢睿 
辽宁省高等学校优秀人才支持计划(LJQ2011132);辽宁省教育厅科学研究一般项目(L20144456)
在对集束型半导体装备控制软件(Cluster Tool Controller,CTC)架构及SEMI(Semiconductor Equipment and Materials Institute)标准研究的基础上,提出了基于SEMI标准的CTC调度系统架构模型,包括用户界面层、作业与调度管理层、模块管理...
关键词：半导体制造 集束型装备控制软件 调度系统 模块通信标准 
有晶圆滞留时间约束的集束型装备调度问题研究被引量：7
《系统仿真学报》2014年第8期1775-1780,共6页卢睿 李林瑛 
辽宁省高等学校优秀人才支持计划(LJQ2011132);辽宁省教育厅科学研究一般项目(L2014141)
考虑有滞留时间约束的集束型装备调度模型和可调度性问题,建立了包括双臂机械手和加工模块时序约束关系的线性规划模型。在此模型基础上,分析了装备双臂机械手和加工模块周期性加工和搬运晶圆过程,从理论上证明了集束型装备可调度性的...
关键词：半导体制造 集束型装备 双臂机械手 可调度性分析 线性规划模型 
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