国家自然科学基金(51175141)

作品数：11被引量：40H指数：4
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音叉光纤一体式三维谐振测头优化研究
《计测技术》2019年第2期18-21,共4页丁鹏翔 章文 陈丽娟 程真英 黄强先 
国家自然科学基金(51475131);国家自然科学基金(51175141)
音叉光纤一体式三维谐振测头是一种应用于微纳米三坐标测量机的新型测头,由石音音叉与光纤测杆测球组成。为了保持测头的振动稳定性与测量准确性,测杆的长度被限制在1 mm以内,导致其测量较大深宽比微结构的能力受限。为了在保障测头测...
关键词：谐振测头 石英音叉 测头优化 测杆长度 
基于高阶谐振悬臂的轻敲式原子力显微镜测量特性被引量：2
《纳米技术与精密工程》2016年第3期223-228,共6页赵阳 黄强先 张蕤 
国家自然科学基金资助项目(51175141);安徽省高等学校省级自然科学基金资助项目(KJ2015JD09)
轻敲式原子力显微镜的悬臂为无限自由度系统,具有多阶谐振模态.为了提高动态原子力显微镜的测量特性,采用激励硅悬臂工作于高阶谐振模态的方法.相较于基础模态,高阶谐振悬臂的振动频率和品质因数有所提高,结合振型的不同以及光杠杆检测...
关键词：高阶谐振 垂直分辨力 阻尼系数 扫描速度 原子力显微镜 
接触触发式探头结构优化设计被引量：2
《计量学报》2016年第3期230-234,共5页向萌 李瑞君 李心愿 范光照 
国家自然科学基金(51275148,51175141);安徽省高等学校省级自然科学研究重点项目(KJ2014A021)
设计了一种适用于微纳米三坐标测量机的高灵敏度接触触发式探头。介绍了该探头的结构和原理，建立了探头的灵敏度模型和刚度模型，依据三维方向等灵敏度和等刚度的原则，利用最优化方法得出了探头结构参数的最优解。对探头的刚度进行了...
关键词：计量学 三坐标测量机 接触触发式探头 弹性机构 参数优化 
基于DVD光学头的二维微小角度测量研究被引量：4
《仪表技术与传感器》2015年第12期107-109,共3页韩彬 黄强先 伍婷婷 李瑞君 陈丽娟 
国家自然科学基金项目(51175141)
为了实现精密平台二维角度的在线检测,提出了一种基于DVD光学头的二维微小角度测量的方法。利用DVD光学头进行角度测量,是基于激光自准直原理,以四象限光电探测器作为检测元件,以固定在被测物上的反射镜作为被测元件进行测量的一种角度...
关键词：光学头 二维角度 微小角度测量 自准直原理 
基于视觉引导的3D纳米测头被引量：4
《仪表技术与传感器》2015年第11期11-14,共4页黄强先 史科迪 陈晨 
国家自然科学基金项目(51175141)
针对现有微纳米CMM机(Micro-Nano Coordinate Measuring Machine,微纳米CMM)测量逼近效率低的问题,设计了一种基于视觉引导的3D纳米测头。该测头以石英音叉结合一体式光纤微测杆测球作为微力触发定位传感器,以3个空间布置的微型USB高倍...
关键词：微纳米三坐标测量机 微纳米测头 视觉引导 聚焦区域选择 清晰度评价 高斯滤波 极点搜索 
跨尺度二维工作台系统研制被引量：1
《工具技术》2015年第9期77-80,共4页袁钰 卞亚魁 陈晨 
国家自然科学基金(51175141)
为实现大行程、纳米分辨力的定位目标,研制了跨尺度二维工作台系统。采用大行程宏动台和六自由度微动台组合的方式,搭建了宏/微双驱动高精度二维工作台系统。该系统利用机器视觉技术,采用图像处理方法确定系统中各个零件的位置和方向,...
关键词：跨尺度 宏/微双驱动 机器视觉 纳米定位 
微纳米三坐标测量机的高精度恒温箱研制被引量：5
《计量学报》2015年第5期455-459,共5页冯建 李瑞君 何亚雄 范光照 
国家自然科学基金(51275148,51175141);安徽省高等学校省级自然科学研究重点项目(KJ2014A021)
针对恒温室控制精度低和分离式恒温箱因振动而无法满足微纳米三坐标测量机需要的问题，研制了一套自然对流式高精度恒温箱。用定制尺寸的中空亚克力板和轻便型超低导热系数真空绝热板制成绝热箱体。以仪器测量点温度作为温度控制反馈值...
关键词：计量学 微纳米三坐标测量机 恒温箱 半导体制冷片 真空绝热板 自然对流 
基于PVDF的三维纳米谐振触发测头及定位系统被引量：4
《机械工程学报》2015年第2期1-6,共6页李志渤 黄强先 史科迪 韩彬 余惠娟 
国家自然科学基金(51175141);教育部博士点基金(20100111110011);国家高技术研究发展计划(863计划;2008AA042409)资助项目
微纳米三坐标测量机(Coordinate measuring machining,CMM)是目前微纳米三维测量领域的一个研究热点,针对微纳米CMM中三维纳米测头的研究瓶颈,提出一种与现有机械接触式测头和光学非接触式测头工作原理完全不同的、可达到纳米/亚纳米量...
关键词：微纳米三坐标测量机 三维纳米测头 聚偏氟乙烯薄膜 三维谐振触发测头 三维谐振触发定位系统 
接触测量中的微探球力变形研究被引量：6
《中国机械工程》2014年第14期1926-1929,共4页李志渤 黄强先 赵剑 尤焕杰 程真英 
国家自然科学基金资助项目(51175141);国家高技术研究发展计划(863计划)资助重点项目(2008AA042409)
随着微纳米测量系统中测头微探球尺寸的不断减小和测量不确定度要求的不断提高,测力所引起的力变形误差对测量系统不确定度有着不可忽略的影响。根据Hertz理论,构建了微探球与工件接触时的接触模型、微探球与试样力变形模型,给出了最大...
关键词：微探球 力变形 微纳米测量 接触测量 
石英音叉三维谐振触发定位系统被引量：1
《仪器仪表学报》2013年第10期2351-2357,共7页余惠娟 黄强先 李志渤 史科迪 程真英 
国家自然科学基金(51175141);教育部博士点基金(20100111110011)资助项目
为实现对微器件等三维测量时在三维方向上任意单点的高精度触发定位,提出一种新型三维谐振触发定位系统。以石英音叉作为微力传感器,与一体式光纤微测杆测球相结合,利用其谐振参数(谐振振幅、谐振频率/谐振相位)对微力的高敏感性构建三...
关键词：触发定位 石英音叉 谐振特性 三维谐振触发测头 纳米 三维谐振触发定位系统 
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