国家高技术研究发展计划(2009AA04Z322)

作品数：4被引量：24H指数：2
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基于EIT技术的气流传感器及其实验研究被引量：1
《东南大学学报（自然科学版）》2012年第6期1117-1121,共5页蒋明霞 李伟华 张良 葛宇昊 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2009AA04Z322)
提出了一种新型的、基于电阻抗断层成像技术进行气流传感的微机电(MEMS)传感器结构,其基本构造为覆盖在加热器件之上的半导体硅薄膜以及位于硅薄膜四周的16个金属电极.首先,在金属电极对中注入电流,并根据相邻测试规则测量其他电极对间...
关键词：电阻抗断层成像 微机电气流传感器 电阻率分布图像 
MEMS电容式湿度传感器后处理工艺研究被引量：7
《传感技术学报》2011年第9期1253-1255,共3页张广庆 赵成龙 秦明 
国家863计划项目(2009AA04Z322);航空基金项目(20080869)
利用标准CMOS工艺结合MEMS后处理制得一种梳齿状结构的电容型湿度传感器。这种湿度传感器采用聚酰亚胺(PI)作为感湿介质。实验研究了聚酰亚胺薄膜的厚度和固化条件对湿度传感器敏感性能的影响,结果显示:聚酰亚胺薄膜厚度为2.4μm,采用...
关键词：聚酰亚胺 湿度传感器 电容型传感器 后处理工艺 
CMOS电容式湿度传感器特性研究
《电子器件》2011年第4期379-382,共4页刘岩 赵成龙 聂萌 秦明 
国家863高技术研究发展计划项目(2009AA04Z322);国家自然科学基金项目(60901009)
提出了一种CMOS电容式湿度传感器特性研究方案。研究所用的微电容湿度传感器由标准CMOS工艺结合MEMS后处理技术加工而成。为了测试湿度传感器的响应时间,设计了一种响应时间测试装置。测试结果表明,该电容式湿度传感器在相对湿度25%～95...
关键词：电容式传感器 湿度传感器 CMOS工艺 MEMS 
谐振式MEMS温度传感器设计被引量：16
《光学精密工程》2010年第9期2022-2027,共6页马洪宇 黄庆安 秦明 
国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2009AA04Z322);国家自然科学基金资助项目(No.60901009)
为了实现以频率输出为信号的气象温度测量,提出了一种基于双层悬臂梁的谐振式微温度传感器。基于双悬臂梁不同材料热膨胀系数的差异会导致悬臂梁谐振频率偏移的原理,采用压电方式同时实现悬臂梁的驱动及其谐振频率的检测,从而实现温度...
关键词：温度传感器 微机电系统(MEMS) 频率测量 谐振 悬臂梁 
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