国家高技术研究发展计划(2007AA01Z333)

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相关期刊：《光学精密工程》《哈尔滨工业大学学报》《光学学报》《工具技术》更多>>
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一种光场均匀性同步采集方案的FPGA实现
《光学与光电技术》2020年第5期16-21,共6页王景隆 曹益平 杨磊 
国家高技术研究发展计划(863计划)(2007AA01Z333);国家科技重大专项(2009ZX02204-008)资助项目。
提出了一种基于FPGA的光场均匀性测量同步采集方案。在大面积光场均匀性测量中,探头步进扫描法需要对大面积光场进行扫描,因此需要同时对光场测量点的光能量值及其坐标值进行采集。该方案通过设计同步采集电路对光场测量点的能量值及三...
关键词：光场均匀性 光刻机 同步采集 现场可编程门阵列 
一种基于ORB算法的在线三维测量方法被引量：3
《光学与光电技术》2020年第3期34-39,共6页蔡后乐 曹益平(指导) 李建 
国家高技术研究发展计划(2007AA01Z333);国家科技重大专项(2009ZX02204-008)资助项目
提出了一种采用ORB算法匹配运动物体的特征点,实现目标物体在线三维测量的方法。仅将一固定的正弦光栅投影到匀速运动待测量物体,使用CCD等时间间隔拍照,获取物体的五帧变形条纹图并提取出背景光场。借助ORB算法对物体的背景光场进行特...
关键词：在线三维测量 特征匹配 ORB算法 等步长相移算法 相位展开 
多脉冲激光能量探测的同步时序控制系统设计与实现被引量：2
《工具技术》2020年第6期68-71,共4页蔡后乐 曹益平 卢明腾 
国家高技术研究发展计划(2007AA01Z333);国家科技重大专项(2009ZX02204-008)。
设计了一种同步时序控制系统,可实现脉冲激光能量探测过程的自动化开关控制,并保证每次测量过程中参与积分的激光脉冲数目相同。设计了激光脉冲计数电路,结合锁存器、比较器产生预置脉冲频率的启动测量信号,将其输入到所设计的基于D触...
关键词：脉冲激光 能量探测 硬件设计 控制逻辑 
ArF准分子激光单脉冲能量暗场噪声相消探测方法
《光学与光电技术》2020年第3期17-22,共6页杨磊 曹益平(指导) 
国家高技术研究发展计划(2007AA01Z333);国家科技重大专项(2009ZX02204-008)资助项目
193 nm ArF准分子激光光刻技术作为当前主流的光刻技术,可实现特征尺寸小于等于90 nm的集成电路制作工艺。光场均匀性及脉冲能量的准确性是实现高质量光刻的重要指标,提出了基于暗场噪声相消提高单脉冲能量测量精度的方法,通过对探测头...
关键词：ArF激光 光刻 能量探测 暗场噪声 单脉冲 
基于灰度拓展复合光栅的单帧三维测量方法
《红外与激光工程》2020年第6期84-91,共8页李红梅 曹益平(指导) 王亚品 王璐 李城梦 安海华 徐财 
国家高技术研究发展计划(863计划)(2007AA01Z333);国家科技重大专项(2009ZX02204-008)。
提出了一种基于灰度拓展的单帧正交复合光栅三维测量方法。由于受商用DLP最大灰阶动态范围256的标准限制,单帧复合光栅中的多张调制光栅共享256灰阶动态范围导致其对比度变小,其表征的三维物体的相位信息被压缩,解相过程出现相位断裂现...
关键词：三维测量 正交复合光栅 灰度拓展 时分复用 
一种具有宽松约束的相位一高度映射算法被引量：1
《哈尔滨工业大学学报》2020年第5期58-65,共8页王景隆 曹益平 李城梦 付光凯 万莹莹 王亚品 王璐 
国家高技术研究发展计划(2007AA01Z333);国家科技重大专项(2009ZX02204-008)。
为了提升PMP测量系统的测量精度以及放宽该系统搭建的约束条件,提出一种新的具有宽松约束的相位测量轮廓术相位一高度映射算法.这种算法既不要求投影装置光心和成像装置光心的连线平行于参考平面,也不要求投影装置的光轴与成像装置的光...
关键词：三维面形测量 相位测量轮廓术 相位展开 相位一高度映射算法 宽松约束 
基于单帧变形条纹的空间相移轮廓术被引量：6
《光学与光电技术》2019年第3期40-46,共7页杨坤朋 曹益平 李城梦 
国家高技术研究发展计划(863计划)(2007AA01Z333);国家科技重大专项(2009ZX02204-008)资助项目
针对当前单帧条纹技术存在的精度受到影响等问题及传统相位测量轮廓术受多帧采集限制的情况,提出了一种基于单帧变形条纹的空间等步相移轮廓术。先提取所采集的单帧变形条纹图的零频成分,通过滤除背景光并归一化处理,可获得振幅为常数1...
关键词：单帧条纹 三维测量 空间相移 相移轮廓术 实时测量 
一种改进的菱形相位展开算法被引量：7
《光电子．激光》2019年第6期665-672,共8页李琴 曹益平 
国家高技术研究发展计划(863计划)(2007AA01Z333);国家科技重大专项(2009ZX02204-008)资助项目
菱形相位展开算法以菱形为路径进行相位展开,具有展开速度快、易理解等特点而倍受亲睐,但是当展开路径上遇到不可靠点时相位展开容易出错,并向后累计,形成拉线或孤岛现象。因此,本文提出一种改进的菱形相位展开算法,先用大津法对调制度...
关键词：相位测量轮廓术 相位展开 光栅投影 极点 相位逼近 插值拟合 
一种基于背景校正的2+1相移算法被引量：2
《光子学报》2019年第4期214-220,共7页李东林 曹益平 
国家高技术研究发展计划(No.2007AA01Z333);国家科技重大专项(No.2009ZX02204-008)~~
由于投影仪与相机普遍存在的伽马非线性效应,变形条纹图直流项与背景图光强分布并不相等,会引入测量误差.本文在传统2+1相移算法中引入背景校正,以所捕获的背景图光强分布为模板,采用最小二乘原理逼近变形条纹图的直流项,能有效提高测...
关键词：光学三维测量 相位测量轮廓术 相移算法 背景校正 伽马效应 
基于满周期等相移算法的改进双频在线相位测量轮廓术被引量：4
《光学学报》2019年第4期209-216,共8页彭旷 曹益平 武迎春 
国家863计划(2007AA01Z333);国家重大专项(2009ZX02204-008);国家自然科学基金青年基金(61601318);山西省应用基础研究项目青年科技研究基金(201601D021078)
基于在线三维(3D)测量中被测物体与高频条纹的相对位置关系,提出了一种改进的双频在线3D测量方法,通过控制被测物体运动时的采集点,使各帧像素匹配后变形条纹图中的高频条纹光强分布完全一致。直接利用满周期等相移算法进行相位计算,从...
关键词：测量 三维测量 像素匹配 满周期等相移算法 复合条纹 
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