国家教育部博士点基金(20010248001)

作品数：5被引量：9H指数：2
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相关期刊：《机械制造》《仪表技术与传感器》《新技术新工艺》《机械设计与研究》更多>>
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相关领域：机械工程自动化与计算机技术化学工程更多>>
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内嵌永磁体阵列的柔性振动膜微型电磁驱动器的设计与制作工艺
《仪表技术与传感器》2009年第4期58-61,共4页苏宇锋 段智勇 郑鹏 刘武发 陈文元 
教育部博士点基金项目(20010248001)
提出了一种基于硅橡胶薄膜(PDMS,polydimethyl siloxane)和CoNiMnP永磁体阵列的双向微型电磁驱动器,由振动膜层和线圈层两层构成。对该驱动器进行了理论分析与数值模拟,二者结果基本一致,振动膜中心最大挠度的分析误差为7.96%.着重探讨...
关键词：微驱动器 电磁驱动 硅橡胶(PDMS) 电镀 
柔性膜微型电磁驱动器的设计与制作工艺被引量：2
《仪表技术与传感器》2005年第12期10-12,共3页苏宇锋 陈文元 陈晓梅 张卫平 王伟 
教育部博士点基金(20010248001)
主要讨论了一种微型电磁驱动器的设计和制作工艺。该驱动器结构简单,由 Parylene 振动膜和硅基片两层组成,将驱动线圈与硅片集成在一起。对平面电磁线圈的驱动特性和驱动器振动膜的形变进行了分析,并对其关键尺寸进行优化。采用电镀工...
关键词：PARYLENE 制作工艺 柔性膜微型电磁驱动器 NiFe合金阵列 
一种新型电磁驱动微泵的设计与制作工艺被引量：4
《新技术新工艺》2005年第2期27-29,共3页苏宇锋 陈文元 崔峰 
教育部博士点基金项目 (2 0 0 10 2 4 80 0 1)
主要阐述了一种新型电磁驱动微泵的设计和制作工艺。该微泵结构简单 ,由驱动线圈、硅橡胶振动膜和无阀泵泵体组成 ,采用硅加工工艺和非硅加工工艺 (电镀 )相结合进行制作。采用模压法和硅橡胶加工方法将振动膜直接做在一个硅片上 ;用电...
关键词：新型 硅橡胶 电镀 工艺 模压法 泵体 基片 微泵 电磁驱动 振动 
基于Parylene薄膜的微型电磁驱动器的设计与工艺被引量：1
《机械制造》2004年第12期25-28,共4页苏宇锋 陈文元 
教育部博士点基金资助项目(编号:20010248001)
主要讨论了一种微型电磁驱动器的设计和制作工艺。该驱动器结构简单,由Parylene振动膜和硅基片两层组成,将驱动线圈与硅片集成在一起。分析了平面电磁线圈的驱动特性和驱动器振动膜的形变,对其关键尺寸进行优化。采用电镀工艺在硅基片...
关键词：电磁驱动 微驱动器 Parylene振动膜 
动态被动阀微泵的设计优化和制造被引量：2
《机械设计与研究》2003年第2期64-66,共3页张卫平 陈文元 吴校生 陈晓梅 徐正福 
中国高等教育博士点基金资助项目 ( 2 0 0 10 2 480 0 1)
研究的动态被动阀微泵是一种基于微机械技术的振膜型无阀微泵。相对于有阀微泵而言 ,有更高的工作频率和可靠性 ,结构简单 ,加工制造的成本比较低 ,更容易满足实际应用中的各种要求。讨论了动态被动阀的工作机理 ,结合流体力学的基本理...
关键词：动态被动阀微泵 优化设计 制造 微机械技术 
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