国家杰出青年科学基金(10225523)

作品数：9被引量：9H指数：1
导出分析报告
相关作者：赵红卫孙良亭李锦钰冯玉成赵环昱更多>>
相关机构：中国科学院近代物理研究所中国科学院更多>>
相关期刊：《原子核物理评论》《半导体技术》《核技术》更多>>
相关主题：ECR离子源高电荷态ECR等离子体发射度英文更多>>
相关领域：核科学技术理学电子电信更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-9
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
全永磁ECR离子源研究进展
《核技术》2009年第3期173-177,共5页孙良亭 赵红卫 张雪珍 李锦钰 王辉 马宝华 郭晓虹 尚勇 李锡霞 沙杉 谢祖祺 
国家杰出青年科学基金(10225523);国家自然科学基金(10405026)资助
ECR(电子回旋共振)离子源是产生稳定的强流多电荷态离子束流最有效装置。全永磁ECR离子源因其独特的特点为很多中小型多电荷态离子束流实验平台与离子注入机等系统所采用,为后者产生重复性好、稳定性强的多电荷态离子束流。本文着重论...
关键词：ECR离子源 全永磁离子源 多电荷态离子 
强流高电荷态全永磁ECR离子源LAPECR2的初步调试被引量：1
《核技术》2007年第12期965-970,共6页孙良亭 李锦钰 王辉 马宝华 张雪珍 宋明涛 李锡霞 朱玉华 冯玉成 赵力民 王平志 马新文 刘慧萍 赵红卫 
国家杰出青年科学基金(10225523);国家自然科学基金(10405026)资助
研制成功了一台强流高电荷态全永磁ECR(Electron Cyclotron Resonance)离子源LAPECR2(Lanzhou All Permanent Magnet ECR Ion Source No.2)。该离子源在完成磁体装配后已成功在近代物理研究所320 kV高压平台上安装就位,与后束运线完成...
关键词：ECR离子源 全永磁 高电荷态 空间电荷效应 
超导ECR源SECRAL轫致辐射谱的测量
《核技术》2007年第12期975-978,共4页赵环昱 赵红卫 马新文 孙良亭 张雪珍 
中国科学院知识创新工程重大项目(KJCX1-09);国家杰出青年科学基金(10225523)资助
热电子在ECR(Electron Cyclotron Resonance)源中有着非常重要的作用,为了研究ECR源的工作参数(微波功率、磁场等)对热电子的影响,我们对SECRAL(Superconducting ECR ion source with Advanced design in Lanzhou)等离子体在轴向发出的...
关键词：SECRAL 热电子 轫致辐射谱 光谱温度Tspe 
用于光刻的EUV光源被引量：2
《半导体技术》2007年第1期12-16,共5页赵环昱 赵红卫 
中国科学院知识创新工程重大项目(KJCX1-09);国家杰出青年科学基金(10225523);中科院近代物理研究所所长基金资助项目(O51313.SZ0)
对国际上普遍采用的两种EUV光源:放电等离子体源(DPP)和激光等离子体源(LPP)进行了多方面比较。给出了两种等离子体源各自优点及难以克服的困难。基于目前的测量结果,指出了ECR等离子体有潜力成为一种新型的极紫外辐射源。
关键词：光刻 极紫外光源 放电等离子 激光等离子体 ECR等离子体 
ECR离子源束流发射度的实验研究(英文)被引量：1
《高能物理与核物理》2005年第12期1179-1184,共6页孙良亭 曹云 冯玉成 李锦钰 赵红卫 张子民 王辉 马宝华 何伟 赵环昱 郭晓虹 
国家杰出青年基金(10225523)国家自然科学基金(10305016,10405026)资助~~
利用最新自行研制的电扫描发射度探测系统,在ECR离子源上进行了一系列关于ECR离子源引出束流发射度的研究.这套电扫描发射度探测系统安装在中国科学院近代物理研究所(兰州)的LECR3试验平台的束运线上.试验中,通过测量相关参数,研究了磁...
关键词：ECR离子源 发射度 ECR等离子体 
ECR离子源束流引出与传输的研究(英文)
《高能物理与核物理》2005年第8期810-817,共8页孙良亭 曹云 赵红卫 张子民 冯玉成 李锦钰 
国家杰出青年基金(10225523);国家自然科学基金(10305016)资助~~
针对ECR离子源的束流引出及传输研究,在中国科学院近代物理研究所的LECR3离子源实验平台上开展了大量的实验.实验中研究了等离子体电极引出孔径、反射电极(抑制电极)偏压以及Glaser透镜等因素对束流引出与传输的影响.研究的重点是试图...
关键词：ECR离子源 束流引出 空间电荷 等离子体 
电偏转扫描法测量高电荷态ECR源发射度被引量：1
《高能物理与核物理》2004年第8期885-888,共4页曹云 马雷 赵红卫 张子民 孙良亭 李锦钰 冯玉成 李锡霞 
中国科学院知识创新工程重大项目(KJCX 1 0 9);国家杰出青年科学基金 (10 2 2 5 5 2 3 )资助~~
成功地研制了一套适合于低能离子束流发射度测量的电偏转扫描探测器 .对该探测器的原理和结构作了较详细的描述 ,并给出该探测器对兰州近代物理研究所高电荷态ECR源LECR3引出离子束流发射度的测量结果 .典型结果为 :在引出高压为 15 .97...
关键词：电偏转扫描法 ECR离子源 发射度 垂直发射度 引出束流 加速器物理 
ECR离子源六极永磁体的设计研究被引量：4
《高能物理与核物理》2004年第6期644-649,共6页孙良亭 D.Hitz 赵红卫 
中国科学院知识创新工程重大项目 ( 9KJCX1 0 9) ;国家杰出青年科学基金 ( 10 2 2 5 5 2 3 )资助~~
分别从材料、结构、尺寸等方面全面地研究了Halbach结构六极永磁铁的设计方法 .针对个别磁块可能存在的退磁问题给出了相应的解决方案 .通过优化结构 ,使六极磁铁在离子源等离子体弧腔内壁产生的磁场达到最大 .用POISSON ,PERMAG ,TOSC...
关键词：ECR离子源 Halbach结构 六极永磁铁 钕铁硼永磁材料 高能核物理 
高电荷态ECR离子源的金属离子产生被引量：1
《原子核物理评论》2004年第1期26-29,共4页曹云 马雷 孙良亭 张子民 赵红卫 马保华 
中国科学院知识创新工程重大项目(KJCX1 90);国家杰出青年科学基金资助项目(10225523)~~
简单介绍了采用炉子加热、挥发性金属化合物和溅射产生ECR离子源的金属离子的3种方法和实验结果,主要研究了铜、锌、镍和铁等多种电荷态离子的产生.对3种方法分别进行了探讨.
关键词：ECR离子源 加热炉 挥发性金属化合物法 高电荷态 等离子体溅射法 重离子加速器 放射性束产生 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部