国家自然科学基金(40974110)

作品数：16被引量：77H指数：6
导出分析报告
相关作者：巩岩赵阳赵磊刘壮张巍更多>>
相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院研究生院更多>>
相关期刊：《光学精密工程》《光学学报》《光子学报》《光谱学与光谱分析》更多>>
相关主题：投影物镜照明系统成像光谱仪光学设计极紫外更多>>
相关领域：机械工程理学电子电信金属学及工艺更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
基于FPGA的液晶显示屏测试用标准白场装置被引量：1
《液晶与显示》2014年第1期94-100,共7页赵磊 王学亮 巩岩 
国家自然基金资助项目(No.40974110)
针对液晶显示屏生产厂商对标准白场的需求,研制了一种用于现场色彩标定的标准白场装置。介绍了标准白场装置的工作原理,以及该装置的标准定标和用户输出2种工作模式。针对标准白场装置的FPGA主控模块、显示器模块、人机接口模块、探头...
关键词：标准白场 FPGA 液晶显示屏 
投影物镜小比率模型系统补偿量的选择被引量：2
《光学精密工程》2013年第12期3029-3036,共8页赵阳 巩岩 
国家自然科学基金资助项目(No.40974110)
由于光刻投影物镜小比率模型光学系统的光学元件数量较多,用每个补偿量去补偿对应失调量的传统装调方法已不适用。本文利用灵敏度矩阵,通过找出偏心补偿量和倾斜补偿量的内在联系来缩小补偿量的选择范围。然后根据失调量敏感度的分析,...
关键词：投影物镜 复杂系统装调 补偿量选择 灵敏度矩阵 宏模块 
应用全息变间距光栅的极紫外成像光谱仪光学系统设计被引量：3
《中国激光》2012年第11期229-234,共6页刘壮 巩岩 
国家自然科学基金(40974110)资助课题
随着对太阳等离子体活动物理过程研究的深入,对太阳极紫外成像光谱仪的性能要求越来越高,而设计高性能太阳极紫外成像光谱仪的一个重要方法就是应用变间距光栅。提出了一种应用全息变间距光栅的太阳极紫外成像光谱仪的设计方法:首先设...
关键词：光学设计 成像光谱仪 全息变间距光栅 通用全局优化 极紫外 Zemax软件 
透镜主动光学的像差补偿性能被引量：3
《光电工程》2012年第8期118-122,共5页孙振 巩岩 
国家自然科学基金资助项目(40974110)
针对透射式投影物镜中由于不均匀照明产生的像散,提出了采用平面透镜作为主动光学元件以补偿像散的方法。本文对直径为Φ140mm,通光孔径为Φ120mm的平面透镜的支撑结构进行设计和有限元分析,分析了支撑结构的各个关键参数、镜片厚度和...
关键词：主动光学 平面透镜 像散 投影物镜 
投影物镜小比率模型的计算机辅助装调被引量：10
《中国光学》2012年第4期394-400,共7页赵阳 巩岩 
国家自然科学基金资助项目(No.40974110)
针对小比率模型光学系统光学元件数量较多,无法用每个补偿量去补偿对应失调量的问题,提出利用计算机辅助装调方法,通过建立系统的灵敏度矩阵找出偏心失调量和倾斜失调量的内在联系来缩小补偿量的选择范围。根据失调量敏感度的分析,提出...
关键词：计算机辅助装调 小像差光学系统 灵敏度矩阵 FRINGE ZERNIKE多项式 
光刻投影物镜可变光阑的结构设计与分析被引量：2
《中国光学》2012年第4期401-406,共6页孙振 巩岩 
国家自然科学基金资助项目(No.40974110)
针对光刻机投影物镜的可变光阑设计对光阑调整范围、安装空间、调整精度的要求,设计了口径为236 mm、调整精度为NA±0.003的连续可变光阑。通过设计与计算236 nm光阑片参数,得到了光阑各组件的结构参数,并采用部分齿轮减小了运动机构的...
关键词：可变光阑 投影物镜 结构设计 有限元分析 
太阳极紫外成像光谱仪光学系统设计与分析被引量：3
《光子学报》2012年第7期776-780,共5页刘壮 巩岩 
国家自然科学基金(No.40974110)资助
针对太阳极紫外成像光谱仪的应用目的与工作环境,设计了一种太阳极紫外成像光谱仪的光学系统.该系统由望远系统、狭缝、光栅与探测器组成.望远系统采用离轴WolterⅡ型结构,入射光掠入射进入系统,具有光谱范围宽、稳定性高、克服恶劣空...
关键词：光学设计 成像光谱仪 极紫外 WolterⅡ型结构 超环面变间距光栅 
18～90mm连续变焦距镜头的研制
《光学学报》2012年第F12期84-90,共7页赵磊 巩岩 赵阳 华洋洋 彭海峰 
国家自然科学基金（40974110）资助课题.
为了实现对有限远物体的快速对准和精确分辨，研制了物距280～340mm的变焦距镜头，对该变焦距镜头的工作原理、结构设计和测试实验等进行了研究。详细阐述了该镜头的整体结构、变焦补偿机构和凋焦机构，研究了变倍补偿凸轮和调焦凸轮的...
关键词：成像系统 变焦镜头 圆柱凸轮 光机结构 模态分析 分辨率 
提高深紫外光刻照明系统扩束单元光束均匀性的方法被引量：7
《光学学报》2012年第8期153-159,共7页赵阳 巩岩 
国家自然科学基金(40974110)资助课题
在曝光线宽为90nm节点的投影光刻机照明系统中,针对准分子激光光源扩束后出射光束均匀性较差的问题,用高斯光束边缘叠加能够提高均匀性的原理对反射式扩束单元进行了分析。结果表明,平行反射式扩束单元出射光束之间叠加尺寸与反射板某...
关键词：几何光学 非平行反射扩束单元 子光束叠加 照明均匀性 
太阳极紫外成像光谱仪光学系统设计被引量：2
《光谱学与光谱分析》2012年第3期834-838,共5页刘壮 巩岩 
国家自然科学基金项目(40974110)资助
在极紫外波段对太阳进行超光谱成像观测是研究太阳上层大气,日冕中等离子物理特性的重要手段。依据太阳极紫外成像光谱仪的应用,结合国内外极紫外成像光谱仪发展现状,制定了太阳极紫外成像光谱仪的性能指标。通过比较各种光学结构的优缺...
关键词：光学设计 成像光谱仪 极紫外 离轴抛物面反射镜 超环面光栅 
全选清除导出
共2页<12>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部