国家高技术研究发展计划(06593NQ070)

作品数：3被引量：18H指数：2
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相关作者：张平吴一辉刘永顺宣明王淑荣更多>>
相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
相关期刊：《光学精密工程》《功能材料与器件学报》更多>>
相关主题：掩模均匀性微结构电镀镍光亮镀镍工艺更多>>
相关领域：化学工程一般工业技术电子电信更多>>
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应用于微反射镜制作的光亮镀镍工艺被引量：2
《功能材料与器件学报》2008年第2期336-340,共5页李加东 宣明 吴一辉 张平 王淑荣 刘永顺 
国家"863"计划资助项目(A类)(No.06593NQ070);中科院创新信息基地项目
研究了一种可用于微反射镜制作的光亮镀镍工艺。分析了微小面积电镀时出现边缘效应的问题,提出了增加牺牲结构的方法提高沉积速率并降低电镀边缘效应。通过脉冲微电镀实验,讨论了电流对电镀边缘效应的影响,同时分析了影响镀层表面质量...
关键词：光亮镀镍 微反射镜 微电镀 边缘效应 
掩模电镀镍微结构的镀层均匀性研究被引量：17
《光学精密工程》2008年第3期452-458,共7页李加东 吴一辉 张平 宣明 刘永顺 王淑荣 
国家"863"高技术研究发展计划资助项目(A类)(No.06593NQ070);中科院创新信息基地资助项目
在给定的电镀液组分下,对掩模电镀微结构的厚度均匀性及镀层横截面轮廓进行了研究,讨论了影响微结构镀层厚度均匀性的主要因素,分析了镀层横截面轮廓随电流密度的改变而变化的原因。电镀液中无添加剂时,镀层均匀性与阴极极化度及电镀边...
关键词：掩模电镀 微结构 均匀性 并存吸附状态 
基于MEMS工艺的电磁驱动无阀微泵
《功能材料与器件学报》2008年第1期98-102,共5页张涛 吴一辉 张平 刘永顺 于震雷 
国家863资助项目(No.06593NQ070);吉林省科研基金资助项目(No.06443UQ060)
基于实现主动微流体芯片的目的,提出了一种非闭合磁路型电磁驱动无阀微泵。微型电磁驱动器采用硅深刻蚀和微电铸工艺制作在硅基体上,微泵泵体的收缩/扩张单元采用微机械工艺制作,采用两步注塑工艺加工磁性PDMS(polymethylsiloxane)振动...
关键词：微机械 微型电磁驱动器 微型泵 集成磁性薄膜 
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