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镀膜设备
《表面技术》2008年第2期58-58,共1页
一种镀膜设备，包括一动力单元、一传动机构、一监控机构、一基板承载机构及一镀膜源。其中，动力单元具有一旋转轴心；传动机构包括一第一齿轮及一第二齿轮，且第一齿轮轴设于旋转轴心，第二齿轮与第一齿轮相啮合，第二齿轮的中央具有...
关键词：镀膜设备 传动机构 动力单元 承载机构 测试组件 齿轮轴 监控 基板 
专利名称：镀膜装置中的遮板
《表面技术》2005年第4期57-57,共1页
一种镀膜装置中的遮板，是用以在一基板上形成两种以上特定厚度的镀膜层，其中遮板的形状是由多数条同心圆弧线所构成，同心圆弧线的弧度是依据镀膜层的特定厚度设成。具有遮板能够精密控制镀膜层每一点的膜厚的功效。
关键词：镀膜装置 基板 专利名称 镀膜层 精密控制 圆弧线 厚度 同心 
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