芯三代半导体科技(苏州)有限公司

作品数：3被引量：11H指数：2
导出分析报告
发文领域：文化科学自动化与计算机技术化学工程电子电信更多>>
发文主题：硅外延碳化硅石墨碳化加热器更多>>
发文期刊：《经济技术协作信息》《人工晶体学报》更多>>
所获基金：江苏省重大科技成果转化项目更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一机构
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-3
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
高速旋转垂直热壁CVD外延生长n型4H-SiC膜的研究被引量：1
《人工晶体学报》2023年第5期918-924,共7页韩跃斌 蒲勇 施建新 闫鸿磊 
江苏省重大科技成果转化项目(BA2022082)。
采用高速旋转垂直热壁化学气相沉积(CVD)设备在偏向〈1010〉晶向4°的n型4H-SiC衬底上进行了同质外延生长,在设定的工艺条件下,外延膜生长速率达到40.44μm/h,厚度不均匀性和掺杂浓度不均匀性分别达到1.37%和2.79%。AFM表征结果显示表...
关键词：碳化硅 外延 化学气相沉积 CVD设备 厚度均匀性 掺杂浓度均匀性 
化学气相沉积法碳化硅外延设备技术进展被引量：9
《人工晶体学报》2022年第7期1300-1308,共9页韩跃斌 蒲勇 施建新 
材料科学姑苏实验室定向攻关类项目(G2110)。
碳化硅(SiC)是制作高温、高频、大功率电子器件的理想电子材料,近20年来随着外延设备和工艺技术水平不断提升,外延膜生长速率和品质逐步提高,碳化硅在新能源汽车、光伏产业、高压输配线和智能电站等领域的应用需求越来越大。与硅半导体...
关键词：碳化硅 外延生长设备 化学气相沉积 外延生长机理 反应室 第三代半导体 宽禁带半导体 
加强企业财务战略管理的有效途径探究被引量：2
《经济技术协作信息》2022年第2期0086-0088,共3页施世武 
企业财务战略管理是企业战略管理中重要的内容,其在企业投融资活动中发挥中重要的作用。随着市场经济的快速发展,企业要保证其发展战略目标的实现,就需要在财务管理中融入战略管理理念,以保证财务规划、筹划与企业的发展战略方向一致。...
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部