成都精密光学工程研究中心

作品数：299被引量：1192H指数：15
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发文作者：马平鄢定尧杨春林张清华周礼书更多>>
发文领域：理学机械工程电子电信金属学及工艺更多>>
发文主题：光学元件激光损伤抛光大口径面形更多>>
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CO_(2)激光改性溶胶-凝胶SiO_(2)薄膜光谱及紫外纳秒激光损伤特性研究被引量：1
《光谱学与光谱分析》2023年第6期1752-1759,共8页袁凯欣 卓瑾 张清华 李亚国 
国家自然科学基金项目(62175221、 61905227)资助。
研究了经过CO_(2)激光处理的溶胶-凝胶SiO_(2)薄膜的物理化学性能和抗激光损伤性能,研究结果表明激光处理后薄膜表面变得更加光滑,粗糙度从14.08 nm降低到9.76 nm,下降了30%以上;薄膜的厚度随着CO_(2)激光处理功率增加有所降低,经过20 ...
关键词：CO_(2)激光 溶胶-凝胶薄膜 激光处理 光谱特性 紫外纳秒激光损伤 
基于蒙特卡罗方法的离子束溅射熔融石英、硅、金和铜行为特征规律仿真研究被引量：1
《激光与光电子学进展》2023年第7期245-252,共8页胡邦杰 张清华 刘民才 许乔 李亚国 
国家自然科学基金(62175221,51505444);中国工程物理研究院创新发展基金(CX2019025);中国工程物理研究院激光聚变研究中心青年人才基金(LFRC-PD012)。
采用蒙特卡罗方法研究了在不同溅射参数和材料模型下,溅射产额、损伤密度分布和纵向能量损伤分布等溅射特征参量对离子束溅射作用效果的影响。通过SRIM-2013软件的粒子跟踪和物理统计结果,分析了离子束初始能量、入射角度、离子种类和...
关键词：材料 蒙特卡罗方法 离子束 SRIM 溅射产额 损伤分布 能量损失 
大型环抛机抛光盘初始型面质量检测技术研究被引量：1
《黄河水利职业技术学院学报》2022年第3期37-43,共7页王伟峰 齐建伟 张丹 谢磊 
河南省科技攻关项目:双目视觉工业摄影测量动态校准方法研究(222102220031);河南省高等学校重点科研项目:基于无人机空地融合技术水利工程实景三维建模研究(21B420002);2021年测绘地理信息职业教育研究课题:基于测绘地理信息类专业职业教育适应性研究与实践(2021CHZD02)。
为提高大型环抛机的抛光质量和效率,提出在产品抛光前,采用工业摄影测量技术对抛光盘初始型面质量进行检测。通过仿真校正板与抛光盘各部位的压强分布,分析了校正板与抛光盘之间的作用机理。结合抛光盘初始型面的分布趋势,发现校正板虽...
关键词：大型环抛机 工业摄影测量 型面质量 大口径光学元件 测量原理 精度评定 压强分布 
高温合金不同脉宽超快激光作用下多脉冲去除阈值
《强激光与粒子束》2022年第4期28-34,共7页高云 杨泽南 宋成伟 张远航 张健 张清华 刘民才 李亚国 
中国工程物理研究院创新发展基金项目(CX2019025);中国工程物理研究院激光聚变研究中心青年人才基金项目(LFRC-PD012)。
实验研究了激光脉冲宽度和脉冲个数对镍基高温合金材料去除阈值的影响,分别在290 fs, 1 ps和7 ps脉宽的激光下,使用1,10,50,100,300,500和1000个不同能量的激光脉冲辐照高温合金样品表面。实验结果表明,烧蚀坑尺寸会随脉冲数的增加而增...
关键词：超快激光 高温合金 多脉冲烧蚀 去除阈值 累积效应 
光学玻璃基底原子层同质材料沉积薄膜光谱及激光诱导损伤特性研究被引量：2
《光谱学与光谱分析》2021年第7期2307-2313,共7页程海鹏 耿锋 刘民才 张清华 李亚国 
国家自然科学基金项目(61905227);中国工程物理研究院创新发展基金项目(CX2019025);中国工程物理研究院激光聚变研究中心青年人才基金项目(LFRC-PD012)资助。
通过原子层沉积技术在熔石英玻璃表面制备了同质材料的单层SiO_(2)薄膜,对光学薄膜的物理化学性质和强激光辐照下的激光诱导损伤性能进行了深入研究。实验中采用双叔丁基氨基硅烷(BTBAS)和臭氧(O_(3))作为反应前驱体,在熔石英光学元件...
关键词：原子层沉积 二氧化硅 沉积温度 光学特性 激光诱导损伤 
光学元件表面离子束抛光过程边缘效应抑制被引量：7
《表面技术》2020年第1期349-355,共7页李晓静 王大森 王刚 张旭 张宁 裴宁 聂凤明 齐子诚 
国家科技重大专项(2017ZX04022001-205-001);宁波市科技服务示范项目(2019F1036)~~
目的为解决光学元件表面进行离子束抛光加工过程中存在边缘效应的问题。方法采用将驻留时间网格在面形采样网格的基础上进行延拓的方法来抑制边缘效应的产生,即将驻留点的网格范围向外进行延拓,使元件边缘部分的采样点中有去除作用的驻...
关键词：离子束抛光 光学元件 驻留时间 线性方程组模型 边缘效应 边缘延拓 面形误差 
Φ200mm口径长焦距球面干涉测试及装备被引量：1
《中国光学》2019年第4期866-871,共6页赵智亮 刘敏 陈立华 赵子嘉 陈辉 
国家重大科学仪器设备开发项目(No.2016YFF0101900)~~
为实现对大尺寸光学材料及系统元件的高精度对准测试,设计了一种新型Φ200mm口径长焦距准直干涉测试装置。该装置以球面标准镜作为参考镜,结合斐索型透射式干涉机制和长焦距准直测试原理对凹球面大曲率半径光学元件进行面形精度检测,最...
关键词：长焦距准直测试系统 球面干涉仪 大曲率半径 
大口径平面光学元件波前梯度数控抛光被引量：10
《光学精密工程》2019年第7期1473-1480,共8页黄金勇 赵恒 胡庆 高胥华 
国家863高技术研究发展计划资助项目
针对改善光学元件的波前梯度均方根指标,在总结面形精度及面形分布对波前梯度指标影响规律的基础上,提出了基于匀滑面形拟合加工的方法,给出了该方法的基本思想和工作流程。首先,对原始面形数据进行扫描计算,标记波前突变数据。然后,采...
关键词：光学加工 光学元件 数控抛光 波前梯度均方根 匀滑面形拟合 
工业摄影测量技术对抛光盘平面度的检测
《测绘科学与工程》2019年第3期47-50,共4页黄桂平 朱文芳 王伟峰 谢磊 
针对光学器件加工中环形抛光机抛光盘形面趋势难以快速量化表征的难题,提出采用非接触、超便携的工业摄影测量技术对抛光盘平面度进行检测的方法。通过使用工业摄影测量系统对粘贴有测量靶标的抛光盘进行定期的旋转测量,可以有效地对抛...
关键词：环抛机 抛光盘 工业摄影测量 平面度测量 
光学波前参数的分析评价方法研究
《光学仪器》2019年第3期56-60,共5页杨影 刘民才 陈磊 朱文华 郑东晖 
国家自然科学基金(U1731115)
针对飞切法加工的玻璃元件面形的评价,研究了小波变换在光学表面低频段和中频段误差的分析方法。采用小波分解变换方法将波前信号的多频率成分分离,选取小波基bior2.8,有效地提取出元件的面形信息,同时将所需的中频段信息与占主成分的...
关键词：飞切法 波前评价 小波变换 特征频率 
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