CRALN

作品数：63被引量：191H指数：9
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含过渡层TiAlN和CrAlN硬质膜的制备及其抗氧化性能研究被引量：2
《沈阳理工大学学报》2018年第2期63-66,共4页房海波 宋亮 尹雪 张罡 
采用磁控溅射技术制备TiAlN、CrAlN及含Ti、Cr过渡层的TiAlN、CrAlN四种薄膜,并对其进行850℃大气热处理实验,通过激光共聚焦显微镜、纳米压痕仪对热处理后的试样进行测试。表征结果显示:热处理后的TiAlN薄膜及含有Ti过渡层的TiAlN薄膜...
关键词：磁控溅射 TIALN CRALN 过渡层 
基于X射线反射研究溅射工艺对CrAlN/TiAlN周期膜界面结构的影响
《中国表面工程》2018年第1期67-73,共7页杜晓明 郑凯峰 王燕 李新喜 张罡 黄朝强 
辽宁省教育厅科研基金(LG201620);中国工程物理研究院中子物理学重点实验室开放基金(2014BB05)~~
为研究X射线反射技术在纳米多层膜界面微结构表征中的应用,采用反应磁控溅射技术在单晶硅基片上制备CrAlN/TiAlN纳米周期膜,利用X射线反射技术系统研究溅射工艺参数对CrAlN/TiAlN纳米周期膜界面微结构的影响规律。结果表明:增加铝靶功...
关键词：磁控溅射 纳米周期膜 CrAlN/TiAlN X射线反射 界面微结构 
CrAlN/VN多层膜调制周期对膜层性能的影响被引量：3
《沈阳理工大学学报》2017年第4期39-43,共5页李大洋 娄长胜 张罡 
针对磁控溅射制备CrAlN和VN的单层膜以及不同调制周期的CrAlN/VN纳米结构多层膜,采用X射线衍射仪、能谱仪、激光扫描共聚焦显微镜,维氏硬度计和纳米压痕仪对膜层性能进行表征。实验结果表明:CrAlN、VN以及CrAlN/VN多层膜均为面心立方结...
关键词：CrAlN/VN 多层膜 调制周期 硬度 
CrAlN/TiAlN纳米多层膜界面结构的中子与X射线反射研究
《原子能科学技术》2016年第6期1112-1117,共6页杜晓明 王敏鹏 王燕 李新喜 张罡 黄朝强 吴二冬 
中国工程物理研究院中子物理学重点实验室开放基金资助项目(2014BB05)
采用反应磁控溅射技术在单晶硅基片上制备了CrN纳米单层膜和CrAlN/TiAlN纳米周期膜,利用非极化中子和X射线反射对膜层厚度、膜层界面粗糙度、界面扩散等表面、界面结构和性质进行了系统研究。中子反射测得的CrN纳米单层膜和CrAlN/TiAlN...
关键词：中子反射 CrAlN/TiAlN多层膜 界面结构 
磁控溅射技术制备CrAlN涂层的研究进展被引量：15
《材料导报》2016年第3期54-59,共6页金浩 张莹莹 时卓 张罡 
辽宁省教育厅重点实验室基础研究资助项目(LZ2014013)
概述了采用不同磁控溅射技术制备CrAlN涂层的国内外研究现状与发展趋势,重点分析了CrAlN涂层的结构、力学性能、涂层氧化行为与耐腐蚀性能。提出了不同磁控溅射制备工艺的进一步优化结合和新型磁控溅射制备工艺的研究是未来磁控溅射技...
关键词：磁控溅射 CRALN 涂层 
火炮身管内壁磁控溅射氮化物层的性能被引量：3
《材料保护》2015年第8期50-52,8,共3页金浩 李德元 张罡 郭策安 陈勇 
辽宁省教育厅科学研究项目(L2012058);辽宁省教育厅重点实验室基础研究项目(LZ2014013)资助
为了提高火炮身管的力学硬度和弹性模量，在PCrNi3Mo钢表面磁控溅射了TiAlN，CrAlN2种氮化物防护层。利用激光共聚焦显微镜、X射线衍射仪（XRD）对2种溅射层的形貌及结构进行了表征，采用纳米压痕仪测试了基材与2种溅射层的硬度和弹性...
关键词：磁控溅射 TIALN CRALN 火炮身管 硬度 弹性模量 
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