CRALN

作品数：63被引量：191H指数：9
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相关领域：金属学及工艺一般工业技术更多>>
相关作者：马凤仓刘平陈小红刘新宽郑康培更多>>
相关机构：上海理工大学中南大学沈阳理工大学湘潭大学更多>>
相关期刊：《润滑与密封》《材料热处理学报》《材料研究与应用》《工具技术》更多>>
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CrAlN/WS_2纳米多层膜的微观结构和力学性能研究被引量：8
《功能材料》2016年第12期12118-12123,共6页刘京京 李伟 孟佳 刘平 张柯 马凤仓 刘新宽 陈小红 何代华 
国家自然科学基金资助项目(51471110);中国科学院特种无机涂层重点实验室开放课题资助项目(KLICM-2013-04)
采用反应磁控溅射工艺在Si基体上沉积了不同调制周期的CrAlN/WS2纳米多层膜,采用X射线衍射仪（XRD）、高分辨透射电子显微镜（HRTEM）、纳米压痕仪和HSR-2M涂层摩擦磨损试验机、扫描电子显微镜（SEM）,研究了调制周期对CrAlN/WS2纳米多...
关键词：CrAlN/WS2纳米多层膜 微观结构 力学性能 共格外延生长 
Al含量对CrAlN涂层微观结构和力学性能的影响被引量：19
《真空科学与技术学报》2011年第6期686-690,共5页郑康培 刘平 李伟 马凤仓 刘新宽 陈小红 杨丽红 
上海市科委资助项目(08110511600);上海市教委重点学科项目(J50503)
采用不同Al含量的AlCr合金靶,在高速钢(M2)上通过直流反应磁控溅射的方式沉积不同的CrAlN涂层;分别用EDS、XRD、纳米压痕仪、高速往复摩擦磨损试验机和台阶仪测量出涂层的化学成分、物相组成、力学性能、磨损性能和磨损量,研究了不同Al...
关键词：磁控溅射 CrAlN涂层 AL含量 力学性能 磨损机制 
工艺参数对直流溅射沉积CrAlN涂层结构和性能的影响被引量：12
《真空科学与技术学报》2011年第5期545-549,共5页郑康培 刘平 李伟 马凤仓 杨丽红 刘新宽 陈小红 
上海市科委资助项目(08110511600);上海市教委重点学科项目(J50503)
采用直流反应磁控溅射的方式,用AlCr合金靶,在高速钢(M2)上沉积CrAlN涂层。采用扫描电镜、X射线衍射、能谱和纳米压痕仪等分析和测量手段,系统研究了Ar/N2气流比、气压和基片温度等工艺参数对CrAlN涂层结构和性能的影响。研究表明,Ar/N...
关键词：CrAlN涂层 磁控溅射 Ar/N2气流比 气压 基片温度 
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