原子束

作品数:121被引量:109H指数:6
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相关作者:陈景标张首刚陈旭南陈献忠王育竹更多>>
相关机构:中国科学院北京大学中国科学院上海光学精密机械研究所清华大学更多>>
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原子束全息技术制作任意微细图形研究
《微细加工技术》2002年第3期48-51,共4页石建平 陈旭南 高洪涛 陈献忠 罗先刚 
中国科学院创新基金资助项目 (A2K0 0 0 )
从波粒二象性原理出发 ,研究了用氖原子束计算全息技术制作任意纳米结构的基本原理和方法 ,克服了用激光梯度场控制原子堆积 ,只能制作单一点、线等周期性纳米结构的不足。分析讨论了原子全息与光学全息的区别 ,指出只有经激光冷却的原...
关键词:任意微细图形 纳米结构制作 计算全息 原子全息 激光冷却 
操纵原子束的激光系统研究被引量:2
《微细加工技术》2002年第2期19-23,共5页陈元培 陈旭南 罗先刚 李展 
中科院知识创新基金资助项目 (A2K0 0 9) ;微细加工光学技术国家重点实验室开放基金资助
重点分析了操纵原子束进行纳米结构加工中激光系统的设计特点 ,包括激光器件的选择、发射功率与激光波长等参数的确定。用其结论设计出了焦距 1 93 .3mm ,F/ # =1 .9,λ =0 .67μm的扩束准直光学系统和缩束倍率 1 0×的缩束光学系统。...
关键词:原子束 激光系统 纳米加工 准直系统 微电子 
电子束原子束结合沉积ZrO_2Y_2O_3-NiCoCrAlY涂层高温氧化行为及其分析
《微细加工技术》1993年第3期78-82,共5页汪德志 冯志蓉 黄宁康 
采用电子束原子束结合技术在GH140基材上沉积的ZrO_2·Y_2O_3—NiCoCrAIY复合膜涂层试样进行了1100℃,10h的等温氧化试验。并对试样高温氧化前后的涂层进行了电子形貌及XRD分析。结果表明,这种复合膜形式的涂层其抗氧化能力大大优于单层...
关键词:高温合金 电子束 原子束 沉积 高温氧化 涂层 
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