栅控二极管

作品数：11被引量：11H指数：2
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相关机构：复旦大学中芯国际集成电路制造(上海)有限公司成都蓉矽半导体有限公司中芯国际集成电路制造(北京)有限公司更多>>
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栅控二极管ESD工艺优化方法研究被引量：1
《固体电子学研究与进展》2023年第4期366-369,共4页贺琪 赵晓松 张庆东 顾祥 赵杨婧 
为解决通过更改器件设计来提升电路抗静电放电(ESD)能力时成本高的问题,从栅控二极管的工艺出发,研究CAN总线电路抗ESD能力提升方法。通过TCAD仿真,评估了沟道掺杂对于栅控二极管抗ESD能力的影响,发现调整ESD离子注入工艺可以优化栅控...
关键词：静电放电 栅控二极管 控制器局域网 传输线脉冲 绝缘层上硅 
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