云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 等离子增强化学气相沉积

等离子增强化学气相沉积: 作品数：61被引量：196H指数：7; 导出分析报告; 相关领域：电子电信理学更多>>; 相关作者：王如志张跃飞王海燕靳锐敏陈永生更多>>; 相关机构：中国科学院北京工业大学西安交通大学郑州大学更多>>; 相关期刊：更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国科学院“百人计划”国家重点基础研究发展计划更多>>

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诺发系统有限公司(NOVELLUS)在VECTOR EXPRESS平台上推出可灰化硬掩模工艺技术: 《电子工业专用设备》2007年第7期61-61,共1页; 诺发系统有限公司日前宣布开始销售用于生产的在VECTOR Express^TM等离子增强化学气相沉积（PECVD）平台上实现的可灰化硬掩模（AHM？）工艺技术，目前这项技术正在申请专利。VECTOR Express平台上的AHM工艺可应对高阶技术节点应用的挑...; 关键词：VECTOR 技术节点 EXPRESS 膜工艺平台等离子增强化学气相沉积系统掩模

NOVELLUS推出VECTOR EXPRESS: 《电子工业专用设备》2007年第4期71-71,共1页; 诺发系统有限公司日前正式推出VECTOR Express^TM新产品。VECTOR Express^TM是诺发公司300mm VECTOR等离子增强化学气相沉积（PECVD）平台的最新增强版本。VECTOR Express的工艺生产速度提高了40％，保持了业界领先的生产效率。此外，VE...; 关键词：VECTOR EXPRESS 等离子增强化学气相沉积 EXPRESS 工艺性能生产速度生产效率系统

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