等离子增强化学气相沉积

作品数：61被引量：196H指数：7
导出分析报告
相关领域：电子电信理学更多>>
相关作者：王如志张跃飞王海燕靳锐敏陈永生更多>>
相关机构：中国科学院北京工业大学西安交通大学郑州大学更多>>
相关期刊：更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国科学院“百人计划”国家重点基础研究发展计划更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
选择条件：
  • 学科=电气工程x
共 条 记 录，以下是1-3
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
等离子体增强化学气相沉积技术制备锗反蛋白石三维光子晶体(英文)被引量：2
《硅酸盐学报》2008年第9期1315-1318,共4页李宇杰 谢凯 张良静 许静 韩喻 李运鹏 
国家部委基金资助项目
采用溶剂蒸发对流自组装法将单分散二氧化硅(SiO2)微球组装形成三维有序胶体晶体模板,以锗烷(GeH4)为先驱体气用等离子增强化学气相沉积法在350℃填充高折射率材料锗,获得了锗反蛋白石光子晶体。通过扫描电镜、X射线衍射仪对锗反蛋白石...
关键词：光子晶体 锗反蛋白石 等离子增强化学气相沉积 溶剂蒸发对流自组装 低温填充 
PECVD沉积氮化硅薄膜在退火过程中的特性变化及在太阳电池中的应用被引量：6
《北京师范大学学报（自然科学版）》2004年第2期221-223,共3页叶小琴 许颖 李艳 顾雅华 周宏余 王文静 
北京市科技新星计划资助项目 (H0 2 0 82 14 80 130 )
采用等离子体增强化学气相沉积 (PECVD) ,在单晶硅衬底上生长氮化硅 (SiN)薄膜 ,再对薄膜进行快速热退火处理 ,研究了在不同温度下SiN薄膜的退火特性 .通过椭圆偏振光仪测量了薄膜厚度和薄膜的折射率 ,发现退火后薄膜的厚度下降 ,折射...
关键词：氮化硅薄膜 等离子增强化学气相沉积 太阳电池 
晶体硅太阳电池的氮化硅表面钝化研究被引量：5
《西安交通大学学报》2002年第6期651-654,共4页杨宏 王鹤 于化丛 奚建平 胡宏勋 陈光德 
西安交通大学博士学位论文基金资助项目
为了提高晶体硅太阳电池的光电转换效率 ,研究了用等离子增强化学气相沉积 (PECVD)的SiNx :H作为晶体硅太阳电池的表面钝化及减反射膜对电池性能的影响 ,并采用不同的工艺路线制备了不同类型的电池 .实验发现 :同SiNx :H比较 ,SiNx :H/S...
关键词：太阳电池 表面纯化 SINX H 等离子增强化学气相沉积 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部