数字光学轮廓仪

作品数：4被引量：4H指数：1
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基于泽尼克多项式的相位去包裹算法
《湖北工业大学学报》2007年第6期1-4,共4页许忠保 易军 张楠 
国家自然科学基金(60677620);湖北省教育厅重点研究项目(D200614006)
研究了泽尼克(Zernike)多项式用于波面数据拟合和相位去包裹方法,针对光滑表面以及由于少数低调制度点、散斑点、噪声等引起的相位去包裹不连续情形,采用Zernike多项式对误差点区域进行拟合,通过阈值的设置,将误差点清除并予以拟合.该...
关键词：相位去包裹 泽尼克多项式 数字光学轮廓仪 
移相式数字光学轮廓仪的研制
《仪器仪表学报》2001年第z2期145-146,共2页于瀛洁 陈明仪 韦春龙 
上海市教委青年基金项目资助
相移干涉技术是表面轮廓测量领域中得到了广泛应用的可实现高精度测量的技术方法。本文将相移干涉技术与上海光学仪器厂的 6 JA型干涉显微镜结合起来 ,研制成功了移相式数字光学轮廓仪 ,其测量范围 0 .5 nm～ 1um,精度达到了 σ<0 .0 5 ...
关键词：移相干涉技术 干涉显微镜 数字光学轮廓仪 
非光学量测试与设备
《中国光学》2000年第3期90-94,共5页
TB92 2000032101三维曲面的光学非接触测量技术=Optical noncontactmeasurement technology for 3-D surface[刊,中]/杜颖,李真,张国雄(天津大学精密仪器与光电子工程学院.天津(300072))//光学精密工程.- 1999,7(3).—1-6对三维曲面的...
关键词：精密工程 三维曲面 测量方法 光学非接触测量 测量精度 精密仪器 仪器仪表 数字光学轮廓仪 误差分析 测试 
数字光学轮廓仪中相位去包裹算法研究被引量：4
《光学精密工程》1999年第5期100-105,共6页曹原 韦春龙 程维明 陈明仪 
上海市科委青年基金;青年科技启明星计划项目
相位扫描干涉度量术的广泛应用推动了去包裹算法的发展。在多种算法中，用于数字光学轮廓仪的相位去包裹算法必须具有较高的普遍适用性，而且必须兼顾健壮性与效率。本文对传统算法和最小二乘算法这两种典型去包裹算法进行了比较研究，...
关键词：数字光学轮廓仪 相位去包裹 最小二乘算法 
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