投影物镜

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LED光刻机物镜垂向基准变化的影响分析
《电子工业专用设备》2020年第2期43-47,共5页陈慧 
物镜是LED光刻机的核心部件,物镜的物面和像面是工件台、掩模台、照明等分系统集成的关键基准。物镜集成时可选用的垂向集成基准有像面、物面、物镜法兰面等。物镜集成基准的变化,会对这些分系统的集成在成本、进度和效率等方面带来影...
关键词：光刻机 投影物镜基准 设计变更 影响分析 
中科院光电所研制成功新型投影光刻机
《电子工业专用设备》1993年第3期38-38,共1页
一种1.5～2微米直接分步重复投影光刻机最近由中国科学院光电技术研究所研制成功,现已通过两轮工艺考核,成品率优于50％。据报道该机是国内首台可供实用的样机。 1.5～2微米直接分步重复投影光刻机是“七五”国家技术攻关项目,1990年3...
关键词：投影光刻机 投影物镜 光电技术 掩模 攻关项目 设备研制 八十年代 精缩 中国科学院 自动调焦 
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