凸点

作品数:349被引量:435H指数:10
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窄节距焊料凸点成形及焊盘尺寸对抗剪强度和微观组织的影响被引量:1
《焊接学报》2015年第11期49-52,115,共4页刘子玉 蔡坚 王谦 何熙 张龙 
国家科技重大专项项目"三维高密度基板及高性能CPU封装技术研发与产业化"(2011ZX02709)
通过优化模板印刷工艺实现了窄节距无铅焊料凸点成形,并观察了凸点形貌、高度以及评估成形的焊料凸点性能.利用拉力剪切力试验机对凸点进行剪切力测试,研究焊盘尺寸对凸点抗剪强度的影响,同时观察了断口形貌,最后对凸点内部及界面处的...
关键词:倒装芯片 焊料凸点 抗剪强度 焊盘尺寸 金属间化合物 
硅晶圆上窄节距互连铜凸点被引量:2
《清华大学学报(自然科学版)》2014年第1期78-83,共6页刘子玉 蔡坚 王谦 程熙云 石璐璐 
国家科技重大专项(2011ZX02709)
为了满足日益减小的互连节距需求,该文研究了晶圆上窄节距铜凸点的成型技术。铜凸点成型主要包括溅射凸点下金属化层(under bump metallization,UBM)、厚胶光刻、电镀、去胶、刻蚀UBM等。通过研究甩胶、前烘、曝光、显影、后烘等技术参...
关键词:厚胶光刻 铜凸点 窄节距互连 
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