平面干涉仪

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平面干涉仪测立方体直角方法的研究
《光学与光电技术》2020年第6期30-34,共5页陈光 熊长新 王潺 何侃 张铉 
为实现方体加工过程中快速准确的测角目的,解决传统测角技术难以适应大批量的方体加工问题,对平面干涉仪测立方体直角方法进行了研究。通过理论推导建立了待测角度偏差与干涉条纹条数的关系式,同时为在线加工过程角度的修正提供理论及...
关键词：平面干涉仪 等厚干涉 测量 方体直角 直角误差 
平面干涉仪参考镜误差标定方法
《光学技术》2020年第5期523-529,共7页于瀛洁 林星羽 陈鼎夫 
国家自然科学基金“大尺寸光学元件光强传输方程非干涉在位检测方法研究”(51775326)。
针对平面干涉仪参考镜误差的标定方法进行文献综述。根据干涉原理分析了干涉仪系统误差的主要来源,干涉仪测量原理是携带参考面信息的参考光和携带被测面信息的物光发生干涉,若参考平面存在误差则会直接影响最后的测量精度,所以参考平...
关键词：应用光学 干涉仪 参考镜误差 平面度绝对测量 
平面干涉仪测立方体直角方法误差分析被引量：1
《科学技术创新》2018年第25期69-70,共2页陈光 钟林 张铉 
用平面干涉仪测量立方体直角的方法方便快捷,适应于大批量的方体加工。对影响平面干涉仪测立方体直角方法误差影响因素进行了分析,确定了面形误差与角度相互配置的合理允差值。为方体加工中角度控制及测量提供了科学理论依据。
关键词：平面干涉仪 面形精度 角度误差 允差值 
平面干涉仪检测立方体直角误差的方法被引量：1
《光学技术》2014年第3期286-288,共3页刘树民 
介绍一种使用平面干涉仪对立方体直角误差的测量方法。利用激光干涉测量方法具有精度高和灵敏度高的特点,制做一个放置立方体的夹具,使其测试光路在立方体内经反射后又由入射面出射,当与测试平行光重合时形成干涉,实现用平面干涉仪对立...
关键词：平面干涉仪 测量 立方体 直角误差 
激光数显平面干涉仪研制成功
《军民两用技术与产品》2009年第12期27-27,共1页
中国兵器工业集团公司所属云南云光发展有限公司成功研制出一款激光数显平面干涉仪。该激光数显平面干涉仪主要应用于光学零件平面性精度的测量．精度可达到0．1道光圈．属于非接触式测量仪器。该干涉仪还可测量光学平板的微小楔角．
关键词：干涉仪 平面性 数显 激光 中国兵器工业集团公司 测量仪器 光学零件 非接触式 
基于空间相移技术的平面干涉仪系统设计
《光学仪器》2009年第1期77-80,共4页严志云 沈琦 邬晔佳 
时域相移技术由于需要在时域采集多幅干涉图而只擅长用于静态检测。为改善测量的动态特性，现提出了基于空间相移技术的平面干涉仪系统。采用基于偏振干涉和光栅分光的单CCD成像空间相移系统设计方案，设计了具有折叠式布局特点的干涉...
关键词：空间相移 光栅分光 偏振干涉 
光探测器与光学系统
《电子科技文摘》2003年第4期16-17,共2页
SPIE-Vol.4231 0307118SPIE 会议录,卷4231:先进的光学制造与测试技术=Proceedings of SPIE,Vol.4231:Advanced optical man-ufacturing and testing technology 2000[会,英]/ChineseOptical Society.—642P.(E)本会议录收集了在成都召...
关键词：光探测器 平面干涉仪 光学系统 非球面透镜 测试技术 会议录 网格简化 光照模型 光学制造 光学元件 
高精度、大口径平面波像差标准──移相式数字平面干涉仪被引量：7
《光学学报》1995年第4期480-485,共6页陈进榜 宋德真 朱日宏 王青 陈磊 陈道炯 
国防科工委专项科研基金
介绍研制成的一台移相式数字平面干涉仪，其孔径为Φ２４５ｍｍ，用液面作基准标定并消除仪器的系统误差，准确度优于λ／５０（峰谷值，λ＝０．６３２８μｍ）。利用计算机辅助干涉术，被测件口径可扩展到Φ５００ｍｍ。该仪器将用于...
关键词：移相式 数字平面干涉 平面波像差标准 
用激光平面干涉仪测量D II—180°棱镜直角偏差...
《云光技术》1992年第6期15-18,共4页许求真 
关键词：激光 平面干涉仪 测量 棱镜 
激光平面干涉仪的演示实验
《实验技术与管理》1991年第4期88-89,共2页齐文浦 
在光具座上做激光平面干涉仪演示实验,是一种简便易行的方法,它可以讨论两点光源的干涉场及其特点;干涉仪的瞳和窗及其与干涉条纹的关系;正确选择干涉场的方法及相应的观测方法;空间滤波现象和提高条纹对比度应注意的问题。
关键词：激光 平面干涉仪 演示实验 
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