气敏薄膜

作品数：64被引量：130H指数：5
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纳米薄膜气敏技术发展与展望被引量：2
《传感器世界》2016年第2期19-23,共5页孙冰 田丰 汪鹏 高金雍 
目前,纳米薄膜气体传感器的发展趋势是提高灵敏度和工作性能,降低功耗和成本,缩小尺寸,简化电路。介绍Sn O_2、Zn O、Ti O_2等主要纳米薄膜气敏传感器研究现状。电子鼻依靠气体传感器阵列而组成,还介绍了装有电子鼻的机器人。
关键词：气敏技术 发展现状和前景 金属氧化物 纳米气敏薄膜 电子鼻 机器人 
利用原子力显微镜观测气敏薄膜的平整度被引量：1
《传感器世界》2014年第6期19-22,4,共5页孙冰 田丰 齐景爱 高金雍 阎国英 
介绍原子力显微镜功能、原理和结构,用于检测原子之间的接触来呈现样品的表面形貌特性,如粗糙度、起伏不平整度等,提供三维表面图像。常用的是激光反射检测系统,由探针、激光发生器和光检测器组成。探针是由悬臂和悬臂末端的针尖组成,...
关键词：原子力显微镜 功能 原理和结构 薄膜表面粗糙度 不平整度 
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