气体压强

作品数:633被引量:401H指数:7
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相关作者:阮方鸣陈雪唐兴马小军祁丽更多>>
相关机构:大连理工大学华中科技大学中国科学院北京航空航天大学更多>>
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静电放电参数随电极移动速度和空气压强变化的特性分析被引量:2
《环境技术》2014年第S1期15-18,共4页阮方鸣 章俊华 杨向东 俞亚堃 李光灿 肖文君 孟洋 
国家自然科学基金(No.60971078);贵州省国际科技合作计划项目(No.G[2012]7019);贵州省科学技术基金(No.J[2011]2028);贵州师范大学博士科研基金
在小间隙静电放电(ESD)中,电极移动速度和气体压强会对测量放电参数出现的低重复离散特性产生影响。基于自主研发的新型测试系统,完成气体压强变化和向放电靶移动电极放电相关参数的测量。静电放电模拟器移动距离控制范围在10cm-40cm。...
关键词:放电参数 放电间隙 静电放电 气体压强 速度 
气体压强及表面等离激元影响表面波等离子体电离发展过程的粒子模拟被引量:7
《物理学报》2013年第19期341-351,共11页陈兆权 夏广庆 刘明海 郑晓亮 胡业林 李平 徐公林 洪伶俐 沈昊宇 胡希伟 
国家自然科学基金(批准号:11105002);工业装备结构分析国家重点实验室开放基金(批准号:GZ1215);安徽高校省级自然科学研究项目(批准号:KJ2013A106);国家大学生创新训练计划项目(批准号:201210361058);安徽理工大学博士科研启动基金资助的课题~~
基于表面等离激元(SPP)的表面波等离子体(SWP)源,具有高密度、低温度及高产率等优异性能,其应用在电子器件微纳加工、材料改性等领域.但由于SPP激励SWP放电的电离过程难于用理论分析和实验测量描述,因而SWP源均匀稳定产生的电离发展过...
关键词:表面波等离子体 表面等离激元 粒子模拟 电离过程 
辅助气体压强比例对中频脉冲非平衡磁控溅射沉积类金刚石薄膜结构与性能的影响
《真空》2012年第6期50-54,共5页代海洋 翟凤潇 陈镇平 
郑州轻工业学院博士科研基金资助项目(2010BSJJ030)
以高纯石墨为靶材、氩气(Ar)和甲烷(CH4)为辅助气体,利用中频脉冲非平衡磁控溅射技术在不同气体压强比例下制备了类金刚石薄膜,采用原子力显微镜、拉曼光谱仪、傅立叶变换红外光谱仪、纳米压痕测试仪对所制备薄膜的表面形貌、微观结构...
关键词:类金刚石膜 中频脉冲非平衡磁控溅射 气体压强比例 结构与性能 
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